力センサー

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大家邦久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997057878
Publication number (International publication number)：1998249768
Application date： Mar. 12, 1997
Publication date： Sep. 22, 1998
Summary：

【要約】【解決課題】人間の手・指の感圧機能に近く、多様な形状の対象物に対応して微弱な圧力変化を的確に感知する柔軟性に優れた力センサーを提供する。【解決手段】最表面にチタン成分を有する箔、薄板またはフィルム等の基材上に水熱合成によって圧電体層を形成し、その上に電極層を積層してなる圧電素子からなる感知手段を、弾性部材の形状に合わせて貼り合わせてなる力センサー。

Claim (excerpt)：

最表面にチタン成分を有する可撓性基材上に水熱合成によって圧電体層を形成し、その上に電極層を積層してなる圧電素子を感知手段として含むことを特徴とする力センサー。

IPC (2)：

B25J 13/08 , G01L 1/16

FI (2)：

B25J 13/08 Z , G01L 1/16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-207118 Applicant：岡田和廣
複合チタン酸化物膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-271267 Applicant：宇部興産株式会社
特開昭60-034294

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