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J-GLOBAL ID：200903030691749837

薄膜デバイスの剥離方法、アクティブマトリクス基板及び液晶表示装置

Inventor：
宇都宮 純夫

About 宇都宮 純夫


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999302778
Publication number (International publication number)：2001125138
Application date： Oct. 25, 1999
Publication date： May. 11, 2001
Summary：
【要約】【課題】 液晶表示装置を構成する基板の枚数を削減し、バックライトからの透過光の利用効率に優れた液晶表示装置を提供する。また、軽量で耐衝撃性に優れ、可曲性を備えた新規な液晶表示装置を提供する。【解決手段】 半導体デバイスからなる液晶表示装置を、剥離層を介して第1の基板上に製造し、これを第1の基板から第2の基板へ転写する。この際、露出した半導体デバイスの裏面にカラーフィルタ及び/またはブラックマトリクスを形成し、カラーフィルタを内蔵した半導体デバイスを製造する。更に、第2の基板から半導体デバイスを分離し、偏光機能を備えた第3の基板へ転写する。これにより、カラーフィルタ及び偏光機能を内蔵した半導体デバイスを製造することが可能となる。
Claim (excerpt)：
第1の基板上に剥離層を介して形成された薄膜デバイスを前記第1の基板から剥離して、第2の基板上に転写する工程1と、前記薄膜デバイスを前記第2の基板から剥離して、第3の基板上に転写する工程2と、を有することを特徴とする薄膜デバイスの剥離方法。
IPC (8)：
G02F 1/1368 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335 500 ,  G02F 1/1335 510 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 349 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336
FI (8)：
G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335 500 ,  G02F 1/1335 510 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 349 B ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 612 B ,  H01L 29/78 627 D
F-Term (113)：
2H090JA07 ,  2H090JA15 ,  2H090JB03 ,  2H090JC01 ,  2H090JC11 ,  2H090JC14 ,  2H090JC20 ,  2H090JD13 ,  2H090JD17 ,  2H090LA04 ,  2H090LA15 ,  2H091FA02Y ,  2H091FA07X ,  2H091FA07Z ,  2H091FA35Y ,  2H091FB02 ,  2H091FC12 ,  2H091FC18 ,  2H091FC23 ,  2H091FD04 ,  2H091FD05 ,  2H091FD06 ,  2H091FD12 ,  2H091FD15 ,  2H091GA01 ,  2H091GA13 ,  2H091LA11 ,  2H092JA25 ,  2H092JA36 ,  2H092JA44 ,  2H092JA46 ,  2H092KA04 ,  2H092KA07 ,  2H092KA10 ,  2H092MA07 ,  2H092MA27 ,  2H092MA30 ,  2H092NA25 ,  2H092PA01 ,  2H092PA08 ,  2H092PA09 ,  2H092PA11 ,  5C094AA08 ,  5C094AA10 ,  5C094AA15 ,  5C094AA45 ,  5C094AA48 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA06 ,  5C094DA12 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5C094ED03 ,  5C094ED14 ,  5C094ED15 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB01 ,  5C094FB02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094FB20 ,  5C094GB10 ,  5F110AA18 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD24 ,  5F110EE02 ,  5F110EE09 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF23 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG33 ,  5F110GG34 ,  5F110GG44 ,  5F110GG51 ,  5F110GG52 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ13 ,  5F110HL03 ,  5F110HL23 ,  5F110HM18 ,  5F110NN03 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN41 ,  5F110NN72 ,  5F110PP03 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ16 ,  5F110QQ19 ,  5F110QQ30
Patent cited by the Patent：
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