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J-GLOBAL ID：200903030774804155

金属部材、DLC膜の製造装置、及び金属部材の製造方法

Inventor：
植草 新一郎

About 植草 新一郎

, 
村田 良美

About 村田 良美


Applicant, Patent owner：
学校法人明治大学

About 学校法人明治大学


Agent (4)： 志賀 正武 ,  棚井 澄雄 ,  高橋 詔男 ,  五十嵐 光永
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008024443
Publication number (International publication number)：2009184859
Application date： Feb. 04, 2008
Publication date： Aug. 20, 2009
Summary：
【課題】硬度に優れた領域と潤滑性に優れた領域とを同一平面内に局在させて併せ持つことが可能なDLC膜を備えた金属部材を提供すること。【解決手段】少なくとも鉄を含む金属基材11上にDLC膜12を配してなる金属部材10であって、DLC膜12は、ラマンスペクトルにおいて、波数が1550〜1600[cm-1]の範囲に観測されるグラファイトに起因したピークを有し、前記ピークの強度が膜面内に複数異なって混在し、前記ピークの強度の最大と最小の差が1桁以上であること。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
少なくとも鉄を含む金属基材上にDLC膜を配してなる金属部材であって、 前記DLC膜は、ラマンスペクトルにおいて、波数が1550〜1600[cm-1]の範囲に観測されるグラファイトに起因したピークを有し、前記ピークの強度が膜面内に複数異なって混在し、前記ピークの強度の最大と最小の差が1桁以上であることを特徴とする金属部材。
IPC (5)：
C30B 29/04 ,  C01B 31/02 ,  C23C 16/27 ,  C23C 16/44 ,  B01J 23/30
FI (5)：
C30B29/04 N ,  C01B31/02 101Z ,  C23C16/27 ,  C23C16/44 A ,  B01J23/30 M
F-Term (49)：
4G077AA03 ,  4G077AB08 ,  4G077BA03 ,  4G077DB01 ,  4G077DB15 ,  4G077ED06 ,  4G077EG16 ,  4G077HA13 ,  4G077TA04 ,  4G077TA11 ,  4G077TB01 ,  4G077TE05 ,  4G077TK01 ,  4G146AA05 ,  4G146AB07 ,  4G146AC15B ,  4G146AC16A ,  4G146AC23B ,  4G146AD16 ,  4G146AD26 ,  4G146AD36 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BC09 ,  4G146BC11 ,  4G146BC25 ,  4G146BC28 ,  4G146BC33B ,  4G146BC42 ,  4G146BC43 ,  4G146DA03 ,  4G146DA32 ,  4G146DA36 ,  4G146DA47 ,  4G169AA02 ,  4G169AA11 ,  4G169BB02B ,  4G169BC60B ,  4G169CB81 ,  4G169DA05 ,  4G169EA03Y ,  4K030AA10 ,  4K030AA17 ,  4K030BA28 ,  4K030BB05 ,  4K030CA02 ,  4K030FA17 ,  4K030LA02 ,  4K030LA22
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (3)
  • 炭素材料
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-337598   Applicant：花王株式会社
  • 硬質炭素膜
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-262445   Applicant：住友電気工業株式会社
  • 特開平3-150296
Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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