平板状物の乾燥方法および乾燥装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：好宮幹夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996223136
Publication number (International publication number)：1998050657
Application date： Aug. 06, 1996
Publication date： Feb. 20, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】従来の平板状物の乾燥方法の問題が起こらない、新しい平板状物の乾燥方法を提供する。【解決手段】表面全体に水分の付着した平板状物を、1つまたはそれ以上の溝部を有し、該溝部に1つまたはそれ以上の開口部を有する空洞部が形成されている載置台の溝部に略垂直に載置し、該載置台の空洞部を減圧して平板状物の表面全体に付着した水分を開口部から吸引することにより、該平板状物を乾燥させることを特徴とする、平板状物の乾燥方法、および、平板状物を略垂直に載置可能な溝部を1つまたはそれ以上有し、該溝部に1つまたはそれ以上の開口部を有する空洞部が形成されている載置台と、載置台の空洞部を減圧する手段とを設けたことを特徴とする、平板状物の乾燥装置。

Claim (excerpt)：

表面全体に水分の付着した平板状物を、1つまたはそれ以上の溝部を有し、該溝部に1つまたはそれ以上の開口部を有する空洞部が形成されている載置台の溝部に略垂直に載置し、該載置台の空洞部を減圧して平板状物の表面全体に付着した水分を開口部から吸引することにより、該平板状物を乾燥させることを特徴とする、平板状物の乾燥方法。

IPC (2)：

H01L 21/304 361 , F26B 5/12

FI (2)：

H01L 21/304 361 Z , F26B 5/12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平3-195021
基板乾燥装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-248808 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
洗浄処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-032514 Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社

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