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J-GLOBAL ID：200903030879460745

ガスセンサおよびガス検出装置

Inventor： 飯田 昌盛 ,  秋葉 幸男 ,  李 成奇 ,  木村 徹男 ,  田中 征一 ,  橋本 隆吉 ,  高橋 成政 ,  石川 智弥
Applicant, Patent owner： 学校法人東海大学 ,  ニッタン株式会社
Agent (1)： 植本 雅治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996094780
Publication number (International publication number)：1997257736
Application date： Mar. 25, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【目的】 複数種類の特定のガスを互いに識別可能に検出することの可能なガスセンサを提供する。【構成】 このガスセンサGAは、所定の基板1上に水素終端ダイヤモンド膜2が形成され、特定のガスに対して水素終端ダイヤモンド膜2の所定の特性値(例えば抵抗値)が変化することを用いて、特定のガスを検出可能になっている。ここで、特定のガスは、例えばNOxガスまたはNH3ガスである。

Claim (excerpt)：

所定の基板上に水素終端ダイヤモンド膜が形成され、特定のガスに対して水素終端ダイヤモンド膜の所定の特性値が変化することを用いて、前記特定のガスを検出可能になっていることを特徴とするガスセンサ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 半導体式ガスセンサー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-196829   Applicant：三井鉱山株式会社
• 半導体式ガスセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-356504   Applicant：三井鉱山株式会社