板状基体の収納ユニットおよび収納装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：福森久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999080509
Publication number (International publication number)：2000272752
Application date： Mar. 24, 1999
Publication date： Oct. 03, 2000
Summary：

【要約】【課題】板状基体を取り出すためのロボット装置を不要にすることができ、しかも、ガラス板を非接触で取り出すことを可能にする板状基体の運搬装置を提供する。【解決手段】板状基体を置くための保持面(底面11E)を具備する本体部10と、保持面の一端およびこの一端の両側の端に設けられると共に、板状基体が3つの端に移動することを防ぐ壁部と、保持面に置かれている板状基体を保持面から浮上させるために、供給された気体を保持面から噴出する浮上用噴出部(複数の噴出孔14A)と、浮上用噴出部によって浮上している板状基体を保持面の他端(搬出口11A)に向けて押し出す排出部(複数の噴出孔16A)とを備える。

Claim (excerpt)：

板状基体を置くための保持面を具備する本体部と、前記保持面の一端およびこの一端の両側の端に設けられると共に、板状基体が前記3つの端に移動することを防ぐ壁部と、前記保持面に置かれている板状基体を前記保持面から浮上させるために、供給された気体を前記保持面から噴出する浮上用噴出部と、前記浮上用噴出部によって浮上している板状基体を前記保持面の他端に向けて押し出す排出部とを備えることを特徴とする板状基体の収納ユニット。

IPC (4)：

B65G 49/06 , B65D 19/44 , B65D 85/86 , H01L 21/68

FI (4)：

B65G 49/06 Z , B65D 19/44 D , H01L 21/68 U , B65D 85/38 J

F-Term (18)：

3E063AA23 , 3E063DA10 , 3E063GG03 , 3E096BA20 , 3E096BB05 , 3E096CB02 , 3E096DA18 , 3E096GA05 , 3E096GA11 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031DA13 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031GA63 , 5F031NA02 , 5F031PA16 , 5F031PA26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平3-074858
特開平4-305955
特開平2-043130

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