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J-GLOBAL ID：200903031169895820
動圧流体軸受
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
石井 陽一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000186074
Publication number (International publication number)：2001065571
Application date： Jun. 21, 2000
Publication date： Mar. 16, 2001
Summary：
【要約】【課題】 回転精度が良く、かつ耐摩耗性および耐久性に優れ、繰り返し使用による回転精度の低下がなく、しかも製造が容易な動圧流体軸受を提供することである。【解決手段】 予め圧力発生パターンを形成したシャフト基体および/またはスリーブ基体の前記パターン部表面および前記パターン形成面にダイヤモンド状炭素膜を被覆した動圧流体軸受とする。
Claim (excerpt)：
流体の圧力分布を発生させる凹および/または凸状のパターンを有する部品を備えた動圧流体軸受において、前記パターンを有する部品の少なくとも1つにダイヤモンド状炭素膜が被覆されており、このダイヤモンド状炭素膜を被覆したパターン形成部品の少なくとも1つの部品の前記パターン部表面および前記パターン形成面に、予め前記パターンを形成してから、ダイヤモンド状炭素膜を被覆したことを特徴とする動圧流体軸受。
IPC (6)：
F16C 33/24
, C01B 31/02 101
, C23C 14/06
, C23C 16/27
, F16C 17/10
, G11B 19/20
F16C 33/24 Z
, C01B 31/02 101 Z
, C23C 14/06 F
, C23C 16/27
, F16C 17/10 A
, G11B 19/20 E
