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J-GLOBAL ID：200903031207559766

処理装置の移動誤差検出装置及びその方法

Inventor：
山本 正昭

About 山本 正昭

, 
城田 浩行

About 城田 浩行


Applicant, Patent owner：
大日本スクリーン製造株式会社

About 大日本スクリーン製造株式会社


Agent (1)： 杉谷 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999132309
Publication number (International publication number)：2000321025
Application date： May. 13, 1999
Publication date： Nov. 24, 2000
Summary：
【要約】【課題】 各挙動を含んだ『ずれ量』を求めて比較的簡易で安価、かつ、適度な精度で移動誤差を検出することができる。【解決手段】 処理位置EPにて所定の処理を施す処理装置の移動誤差検出装置において、描画ステージ5と処理部21との相対的な移動方向を挟み、描画ステージ5の両端部付近に移動方向に沿って形成された基準パターンPRと、2台のアライメントスコープ33,35と、基準パターンPRを撮影して各移動位置における各々のアライメントスコープ33,35に対するずれ量を求める演算手段と各基準パターンPRのずれ量を移動位置に対応付けて記憶する記憶手段とを備えている。描画ステージ5を移動しつつ各基準パターンPRのずれ量を求めることで、ピッチング,ヨーイング,ローリングなどの挙動が含まれたずれ量を検出できる。
Claim (excerpt)：
処理対象物を載置する載置台と処理部とを相対的に移動させ、前記処理対象物に対して処理位置にて所定の処理を施す処理装置の移動誤差検出装置において、前記載置台と前記処理部との相対的な移動方向を挟み、前記載置台の面上の両端部付近に移動方向に沿って形成された基準パターンと、前記基準パターンに対応して配設された少なくとも2台の撮影手段と、前記載置台と前記処理部とを相対的に移動させながら前記2台の撮影手段で基準パターンを撮影し、各移動位置における各々の撮影手段に対する各基準パターンのずれ量を求める演算手段と、前記各基準パターンのずれ量を移動位置に対応付けて記憶する記憶手段と、を備えていることを特徴とする処理装置の移動誤差検出装置。
IPC (3)：
G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G01B 11/00 H ,  G03F 9/00 Z ,  H01L 21/30 503 A
F-Term (35)：
2F065AA17 ,  2F065AA20 ,  2F065BB28 ,  2F065CC00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF67 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2H097AA03 ,  2H097AB05 ,  2H097CA17 ,  2H097KA13 ,  2H097KA20 ,  2H097LA09 ,  5F046AA06 ,  5F046BA07 ,  5F046CA03 ,  5F046CC01 ,  5F046DB04 ,  5F046DC12 ,  5F046EA02 ,  5F046EB03 ,  5F046EC02 ,  5F046ED02 ,  5F046FA10 ,  5F046FB02 ,  5F046FC04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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