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J-GLOBAL ID：200903031273542203

周期性構造物を用いた光学素子及びその製造方法

Inventor：
守 哲司

About 守 哲司


Applicant, Patent owner：
株式会社リコー

About 株式会社リコー


Agent (1)： 丸山 隆夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004161964
Publication number (International publication number)：2005345534
Application date： May. 31, 2004
Publication date： Dec. 15, 2005
Summary：
【課題】 周期性構造物に用いる材質に関わらず適用可能で微粒子が存在しない空間を周期性構造物に設けることができる光学素子の製造方法及びその方法で製造した光学素子を提供する。【解決手段】 コロイド溶液中の微粒子4を基板3上に周期的に配列させて第1の周期性構造物を形成し、第1の周期性構造物を構成する微粒子4の一部を除去し、微粒子4を除去した箇所及び微粒子同士の間隙に、第1の液状物質又は第1のナノ粒子を充填し、充填した第1の液状物質又は第1のナノ粒子を固化又は固定化して第2の周期性構造物を形成し、第1の周期性構造物を除去し、第1の周期性構造物を構成していた微粒子が存在していた空間に第2の液状物質又は第2のナノ微粒子を充填し、充填した第2の液状物質又は第2のナノ粒子を固化又は固定化して第3の周期性構造物を形成し、第2の周期性構造物を除去する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
コロイド溶液中の微粒子を基板上に周期的に配列させて第1の周期性構造物を形成する工程と、 前記第1の周期性構造物を構成する微粒子の一部を除去する工程と、 前記第1の周期性構造物の前記微粒子を除去した箇所及び前記微粒子同士の間隙に、第1の液状物質又は第1のナノ粒子を充填する工程と、 充填した前記第1の液状物質又は第1のナノ粒子を固化又は固定化して第2の周期性構造物を形成する工程と、 前記第1の周期性構造物を除去する工程と、 前記第1の周期性構造物を構成していた微粒子が存在していた空間に第2の液状物質又は第2のナノ微粒子を充填する工程と、 充填した前記第2の液状物質又は第2のナノ粒子を固化又は固定化して第3の周期性構造物を形成する工程と、 前記第2の周期性構造物を除去する工程とを有する光学素子の製造方法。
IPC (2)：
G02B1/02 ,  G02B6/12
FI (3)：
G02B1/02 ,  G02B6/12 Z ,  G02B6/12 N
F-Term (3)：
2H047KA03 ,  2H047KB08 ,  2H047QA01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
  • フォトニック結晶導波路デバイス
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-276144   Applicant：株式会社リコー
  • 微粒子薄膜の製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-216663   Applicant：新技術事業団, 永山国昭
  • 特許第2828386号公報
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