累積型化学・物理現象検出装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：清水守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000293669
Publication number (International publication number)：2002098667
Application date： Sep. 27, 2000
Publication date： Apr. 05, 2002
Summary：

【要約】【課題】高感度化を図ることができる累積型化学・物理現象検出装置を提供する。【解決手段】センシング部はイオン信号が入るような構造となっており、一般的にはMOS構造の金属電極の代わりにシリコン窒化膜(Si3 N4 膜)23がシリコン酸化膜(SiO2 膜)22上に堆積されており、その表面がイオン感応部として働く。さらに、水溶液24中には参照電極26が挿入され、水溶液24の電位は、一定に保たれている。電荷供給部、障壁部、リセットゲート部にはパルス電圧、その他のフローティングディフュージョン部以外の電極には直流電圧が印加されている。電荷供給部、フローティングディフュージョン部とリセットドレイン部は拡散層で作られており、その他の部はMOS構造となっている。

Claim (excerpt)：

センシング領域からの電圧出力を、薄い酸化膜を介して半導体表面のポテンシャルの変化として入力させ、該ポテンシャルの変化を電荷に変換させることを特徴とする累積型化学・物理現象検出装置。

IPC (3)：

G01N 27/414 , H01L 27/14 , H01L 29/78

FI (3)：

G01N 27/30 301 Z , H01L 27/14 Z , H01L 29/78 301 U

F-Term (10)：

4M118AA05 , 4M118AA10 , 4M118AB10 , 4M118BA30 , 4M118DC03 , 4M118DC08 , 4M118DD05 , 4M118DD09 , 4M118DD11 , 5F040EB15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

物理現象または化学現象の測定方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-157716 Applicant：株式会社堀場製作所
ISFETアレイ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-219075 Applicant：株式会社堀場製作所
電解液のpH分布測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-234329 Applicant：株式会社堀場製作所

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Cited by examiner (2)

物理現象または化学現象の測定方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-157716 Applicant：株式会社堀場製作所
ISFETアレイ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-219075 Applicant：株式会社堀場製作所

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