スプレイ塗布によるスピンコーティング方法とそのスピンコータ

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994152757
Publication number (International publication number)：1995328517
Application date： Jun. 10, 1994
Publication date： Dec. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】スピンコーティングにおける塗液の付与をスプレイによって行うことと、さらに塗液中に含まれるの溶媒の蒸発を抑止して、塗液の粘度変化を防止すること。【構成】スピンコータのチャンバ内において、チャンバの上下中心軸線上、その上方部にスプレイノズルを設けることである。その他、上記中心軸線上、下部にバキュウム式チャック盤を設けることは従来と同様である。更に上記塗液スプレイ時において、塗液中の溶媒の蒸発を防ぐため、同チャンバ内部に、同溶媒飽和蒸気を吹き込み、又は冷却エア、加圧エアを吹き込むことである。

Claim (excerpt)：

スピンコーティングにおいて、板状被塗物に対し、先ず塗液をノズルよりスプレイ塗布し、概ね膜状に塗布された液膜を、高速回転による遠心力により極薄膜状化し塗着せしめることを特徴とするスプレイ塗布によるスピンコーテイング方法。

IPC (4)：

B05C 11/08 , B05D 1/40 , G03F 7/16 502 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

スピン・コーティング装置および方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-239297 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
有機材の回転塗布方法とその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-327928 Applicant：富士通株式会社
特開平2-288220

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