無機質含有感光性樹脂組成物および無機パターン形成方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鍬田充生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998001252
Publication number (International publication number)：1999194491
Application date： Jan. 07, 1998
Publication date： Jul. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】無機成分の含有量が多くても、高い感度で解像度に優れる無機パターンを形成する。【解決手段】 (A)感光性ポリマー,(B)加水分解重合性有機金属化合物又はその縮合物および(C)官能基を有する無機フィラーで構成された無機質含有感光性樹脂組成物を基体に塗布し、露光,現像してパターンを形成した後、焼成し、無機パターンを形成する。(A)感光性ポリマーは、オリゴマー又はポリマーと、感光剤とで構成でき、(B)加水分解重合性有機金属化合物は、感光性基を有していてもよい。無機フィラーは、平均粒子径2〜100nmの単分散したコロイダルシリカであってもよい。各成分の割合は、固形分換算で、(A)1重量部に対して,(B)1〜25重量部および(C)1〜20重量部程度である。

Claim (excerpt)：

(A)感光性有機オリゴマー又はポリマー,(B)加水分解重合性有機金属化合物又はその縮合物および(C)官能基を有する無機フィラーで構成されている無機質含有感光性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/027 , G03F 7/075 501 , H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/027 , G03F 7/075 501 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

感光性有機・無機複合体組成物、その製造方法および該組成物からなるフォトレジスト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-093200 Applicant：株式会社関西新技術研究所
感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-249815 Applicant：富士写真フイルム株式会社
特開昭61-275834

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