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J-GLOBAL ID：200903031493131727

被加工物の切削方法

Inventor：
根岸 克治

About 根岸 克治


Applicant, Patent owner：
株式会社ディスコ

About 株式会社ディスコ


Agent (1)： 佐々木 功 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001030929
Publication number (International publication number)：2002237472
Application date： Feb. 07, 2001
Publication date： Aug. 23, 2002
Summary：
【要約】【課題】 回転軸心が一直線上になるいわゆる2スピンドルタイプの切削装置において、切削効率を向上させる【解決手段】 被加工物を中央領域Aと2つの端部領域B、Cに分け、中央領域Aにおいては、第一の切削ブレード24と第二の切削ブレード61との間隔L1を維持しながら順次両者を割り出し送りして被切削領域を切削し、端部領域B、Cにおいては、第一の切削ブレード24と第二の切削ブレード61とが離反または接近する方向に割り出し送りしながら順次切削を行うことで、常に2つの切削ブレードを作用させる。
Claim (excerpt)：
第一の回転軸の端部に第一の切削ブレードが装着された構成の第一の切削手段と、第二の回転軸の端部に第二の切削ブレードが装着された構成の第二の切削手段と、該第一の回転軸と該第二の回転軸とを略同一直線上に位置付けることにより該第一の切削ブレードと該第二の切削ブレードとを対峙させた状態で該第一の切削手段と該第二の切削手段とを割り出し送り可能に支持するガイド手段と、該割り出し送りの方向に直交する切削送りの方向に移動可能に配設され被加工物を該第一の切削ブレードと該第二の切削ブレードとに作用させるチャックテーブルとから少なくとも構成される切削装置を用い、所定間隔をおいて複数の被切削領域が形成されている被加工物を保持するチャックテーブルを切削送りしながら、該第一の切削ブレード及び該第二の切削ブレードを該被加工物に作用させて該被切削領域を切削する方法であって、該第一の切削ブレードと該第二の切削ブレードとのブレード間隔を、隣り合う被切削領域の間隔の2以上の整数n倍とし、該第一の切削手段または該第二の切削手段のうちいずれか一方の切削手段を被加工物の中央領域の中央部に形成された被切削領域に位置付けると共に、他方の切削手段を該一方の切削手段から該ブレード間隔離間した位置に位置付け、該第一の切削手段及び該第二の切削手段の割り出し送りのインデックス量を該隣り合う被切削領域の間隔とし、該ブレード間隔を維持しつつ、該一方の切削手段を該他方の切削手段が存在しない側に割り出し送りすると共に、該他方の切削手段を同方向に割り出し送りしながら、該第一の切削ブレードと該第二の切削ブレードとを同時に該被切削領域に作用させて該被加工物の中央領域に形成された2n本の被切削領域を順次切削する第一の工程と、該第一の工程の前または後に、該第一の切削ブレードと該第二の切削ブレードとが離反または接近する方向に該インデックス量で該第一の切削手段及び該第二の切削手段を割り出し送りして、該中央領域の両側に形成された2つの端部領域に該第一の切削ブレードと該第二の切削ブレードとをそれぞれ同時に作用させて該2つの端部領域に形成された被切削領域を順次切削する第二の工程とから構成される被加工物の切削方法。
IPC (2)：
H01L 21/301 ,  B23Q 16/02
FI (2)：
B23Q 16/02 Z ,  H01L 21/78 F
F-Term (1)：
3C028DD00
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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