導波型光回路及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：光石俊郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996194420
Publication number (International publication number)：1998039150
Application date： Jul. 24, 1996
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】本発明は光通信システム、光情報処理装置に用いられる導波型光デバイス、特に、導波型光干渉計等の導波型光回路及びその製造方法を提供する。【解決手段】シリコン基板1と該基板上に形成された平面型光導波路を少なくとも含む導波型光回路2であって、上記シリコン基板1の上側に、熱膨張係数が上記基板と異なる層であるチタン添加石英系ガラス板3を形成し、シリコン基板の伸縮を抑えて、動作波長の温度依存性を低減してなる。

Claim (excerpt)：

基板と該基板上に形成された平面型光導波路を少なくとも含む導波型光回路であって、上記基板の下側又は上記平面型光導波路の上側又はその両方に、熱膨張係数が上記基板と異なる層を形成してなることを特徴とする導波型光回路。

IPC (2)：

G02B 6/122 , G02B 6/13

FI (2)：

G02B 6/12 A , G02B 6/12 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

非感熱性光学素子
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平9-525962 Applicant：コーニングインコーポレイテッド
光導波回路
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-006367 Applicant：日本電信電話株式会社
光導波路の作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-162491 Applicant：住友電気工業株式会社

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