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J-GLOBAL ID：200903031912619204

ポジ型感光性組成物

Inventor：
児玉 邦彦

About 児玉 邦彦


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (1)： 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001250452
Publication number (International publication number)：2003057816
Application date： Aug. 21, 2001
Publication date： Feb. 28, 2003
Summary：
【要約】【課題】 ラインのプロファイルが改善され、且つ保管時にパーティクルが発生し難いポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する特定の酸発生剤、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
Claim (excerpt)：
(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する下記式(I)に示す酸発生剤、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式(I)中、R1〜R5は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、ニトロ基、ハロゲン原子又は置換基を有していてもよい、アルキル基、アルコキシ基、アルキルオキシカルボニル基、アリール基若しくはアシルアミノ基を表し、R1〜R5のうち少なくとも2つが結合して環構造を形成してもよい。但し、R1〜R5のうち少なくとも1つは水素原子ではなく、且つR1〜R5の炭素数の和は2以上である。R6及びR7は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、シアノ基又は置換基を有していてもよい、アルキル基若しくはアリール基を表す。Y1及びY2は、同じでも異なっていてもよく、置換基を有していてもよい、アルキル基、アリール基、アラルキル基又はヘテロ原子を含む芳香族基を表し、Y1とY2とが結合して環を形成してもよい。R1〜R5の少なくとも1つとY1又はY2の少なくとも一つが結合して環を形成してもよい。R1〜R5の少なくとも1つとR6又はR7の少なくとも1つが結合して環を形成してもよい。また、R1〜R7のいずれか又はY1若しくはY2のいずれかの位置で、連結基を介して結合し、式(I)の構造を2つ以上有していてもよい。X-は、非求核性アニオンを表す。
IPC (3)：
G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (15)：
2H025AA03 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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