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J-GLOBAL ID：200903032214640737

単結晶ダイヤモンド膜の形成方法

Inventor： 新谷 義廣 ,  橘 武史 ,  西村 耕造 ,  宮田 浩一 ,  横田 嘉宏 ,  小橋 宏司
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 藤巻 正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994315975
Publication number (International publication number)：1996151296
Application date： Nov. 25, 1994
Publication date： Jun. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 単結晶のダイヤモンド膜を大面積に低コストで気相合成することができ、大面積の単結晶ダイヤモンド基板を得ることができ、ダイヤモンドを使用した幅広い応用分野において、ダイヤモンドの特性の飛躍的向上と実用化を可能にする単結晶ダイヤモンド膜の形成方法を提供する。【構成】 (111)又は(001)の結晶面を有する白金の単体又は合金を基板としてダイヤモンド膜を気相合成する。この基板は基体上に、前記(111)又は(001)の結晶面を有する白金の単体又は合金の膜が被覆されたものであっても良い。

Claim (excerpt)：

一定の結晶面を有する白金の単体又は合金を基板としてダイヤモンド膜を気相合成することを特徴とする単結晶ダイヤモンド膜の形成方法。

IPC (2)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/26

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 金属表面へのダイヤモンド被覆の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-023521   Applicant：高谷松文
• ダイヤモンド単結晶膜の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-098986   Applicant：小野田セメント株式会社
• 配向性ダイヤモンド膜及びその形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-190904   Applicant：株式会社神戸製鋼所

Cited by examiner (3)

• 金属表面へのダイヤモンド被覆の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-023521   Applicant：高谷松文
• ダイヤモンド単結晶膜の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-098986   Applicant：小野田セメント株式会社
• 配向性ダイヤモンド膜及びその形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-190904   Applicant：株式会社神戸製鋼所