気液分離膜

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001111961
Publication number (International publication number)：2002263458
Application date： Mar. 07, 2001
Publication date： Sep. 17, 2002
Summary：

【要約】【課題】センサを微小化した場合にも、センサボディへの接合が容易で大量生産にも適しており、膜にたわみなどが発生せずに、堅牢に保持できて、しかも十分な気体透過性を保持できるととも内部液も確実に保持できるような隔膜式化学センサ用の気液分離膜をを提供する。【解決手段】 2枚のシリコン基板を接合し、接合面のいずれかの一面に接合面に沿ってサブミクロンのレベルの浅溝を凹設して、このギャップを気体透過孔とする。各シリコン基板に設けられた気体の出入り用の貫通孔が、前記浅溝を介してのみ連通するようにして、いずれか一方のシリコン基板の貫通孔の凹設された浅溝への連接部の近傍を撥水性に処理して気液分離膜する。この結果、この気液分離膜は、良好な気体透過性を示して、良好な感度を示すともに、内部液の保持性がよく、堅牢で大量生産にも適している。

Claim (excerpt)：

2枚のシリコン基板を接合し、接合面のいずれかの一面に接合面に沿って浅溝を凹設してなり、各シリコン基板に設けられた貫通孔が、前記浅溝を介してのみ連通するようにしてなるとともに、いずれか一方のシリコン基板の貫通孔の前記凹設された浅溝への連接部の近傍を撥水性にしてなるを特徴とする気液分離膜。

IPC (4)：

B01D 71/02 500 , B01D 69/12 , G01N 27/404 , G01N 27/416

FI (7)：

B01D 71/02 500 , B01D 69/12 , G01N 27/30 341 D , G01N 27/30 341 U , G01N 27/30 341 G , G01N 27/30 341 J , G01N 27/46 316 Z

F-Term (11)：

4D006GA32 , 4D006MA03 , 4D006MA08 , 4D006MB10 , 4D006MB16 , 4D006MC02X , 4D006NA31 , 4D006NA45 , 4D006NA54 , 4D006PC38 , 4D006PC80

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平2-115003
気体透過性膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-319034 Applicant：株式会社潤工社
水分除去器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-279616 Applicant：三菱電機株式会社

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