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J-GLOBAL ID:200903032475738084
表面形状測定方法及びその装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
杉谷 勉
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999241640
Publication number (International publication number):2001066122
Application date: Aug. 27, 1999
Publication date: Mar. 16, 2001
Summary:
【要約】【課題】 測定対象面の凹凸形状を高速で高精度に測定することができる表面形状測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】 バンドパスフィルタ11は、白色光源10からの白色光を特定周波数帯域に制限する。その白色光は駆動部24によって相対的距離が変動される参照面15と測定対象面とに照射されて、その光路差の変化によって干渉縞が生じる。CCDカメラ19は、干渉縞とともに測定対象面を撮像する。CPU20は、測定対象面31の特定箇所で変化する干渉光の強度値を、特定周波数帯域の帯域幅に基づいて予め定められたサンプリング間隔でサンプリングする。さらに、その特定周波数帯域の帯域幅に基づいて、前記干渉光のピーク位置と一致するピーク位置を有する特定関数を推定する。その特性関数のピーク位置の高さを求めることで、測定対象面31の凹凸形状を測定する。
Claim (excerpt):
白色光源からの白色光を測定対象面と参照面とに照射しながら、前記両面の相対的距離を変動させることにより干渉縞の変化を生じさせ、このときの干渉光の強度値の変化を前記測定対象面上の複数の特定箇所について測定して得られた前記各特定箇所の干渉光強度値群に基づいて前記複数個の特定箇所の高さをそれぞれ求めて、前記測定対象面の凹凸形状を測定する表面形状測定方法において、前記白色光源からの白色光の周波数帯域を特定周波数帯域に制限する第1の工程と、前記特定周波数帯域の白色光が照射された前記測定対象面と参照面との相対的距離を変動させる第2の工程と、前記測定対象面と参照面との相対的距離の変動によって生じる干渉縞の変化に応じた、前記測定対象面の特定箇所における干渉光の強度値を、前記特定周波数帯域の帯域幅に応じたサンプリング間隔で順次取り込んだ干渉光強度値群を取得する第3の工程と、前記干渉光強度値群から求まる干渉光の強度値変化の理論的な波形の振幅成分に基づく特性関数を推定する第4の工程と、前記推定された特性関数のピーク位置に基づいて、前記特定箇所の高さを求める第5の工程とを備えることを特徴とする表面形状測定方法。
IPC (3):
G01B 11/24
, G01B 9/02
, G01B 11/00
FI (3):
G01B 11/24 D
, G01B 9/02
, G01B 11/00 G
F-Term (46):
2F064AA09
, 2F064CC10
, 2F064EE01
, 2F064FF03
, 2F064FF07
, 2F064GG22
, 2F064GG42
, 2F064GG44
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064JJ01
, 2F064JJ06
, 2F064JJ15
, 2F065AA06
, 2F065AA24
, 2F065AA51
, 2F065BB01
, 2F065CC19
, 2F065CC25
, 2F065DD06
, 2F065FF52
, 2F065FF67
, 2F065GG24
, 2F065HH04
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL04
, 2F065LL22
, 2F065LL46
, 2F065PP04
, 2F065QQ00
, 2F065QQ01
, 2F065QQ03
, 2F065QQ16
, 2F065QQ17
, 2F065QQ23
, 2F065QQ24
, 2F065QQ27
, 2F065QQ28
, 2F065QQ29
, 2F065QQ42
, 2F065SS02
, 2F065SS13
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
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表面形状を測定する干渉計測方法及び装置
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平7-510284
Applicant:ジゴーコーポレーション
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面形状測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-290290
Applicant:キヤノン株式会社
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コヒーレンス走査干渉測定法におけるデータの高速捕捉方法および装置
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平6-518061
Applicant:ジゴーコーポレーション
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フィルム厚の測定方法及び装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-224836
Applicant:ヒューレット・パッカード・カンパニー
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Cited by examiner (4)