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J-GLOBAL ID：200903032488753082

断面形状測定装置

Inventor：
長沼 義広

About 長沼 義広


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 土井 健二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997233464
Publication number (International publication number)：1999072311
Application date： Aug. 29, 1997
Publication date： Mar. 16, 1999
Summary：
【要約】【課題】被検査物の表面状態に最適な補正関数により、走査しながら測定される被検査物の断面形状を補正して正確な測定を行う。【解決手段】本発明は、キャリブレーション手段において、被検査物の表面の種類に応じて被検査物の表面からセンサまでの第一の距離とセンサの差信号との関係を複数種類測定する。そして、それぞれの被検査物の表面の種類毎に前記の関係を示す補正関数または補正テーブルを取得する。そして、実際の被検査物の表面を走査しながらセンサの差信号をゼロに保つ様に被検査物のステージとセンサとの第二の距離をサーボ制御し、その時に検出される第二の距離に、センサの差信号と前記関係を示す補正関数や補正テーブルとから求められる補正値を加算して、最終的な測定値とする。この補正関数や補正テーブルは、被検査物の表面の種類毎に取得されているので、最適の補正関数や補正テーブルが選択されて補正値を求める演算に利用される。
Claim (excerpt)：
被検査物の表面に投射された光点を、前記被検査物と光電変換素子との第一の距離に応じて投影される光点像の位置を変化させる受光光学系を介して前記光電変換素子に投影し、前記光電変換素子上に投影された光点像の位置が所定の位置になる様に前記被検査物を載せたステージと光電変換素子との第二の距離を駆動制御しながら前記被検査物の表面に沿って前記光点を走査する測定手段と、前記第二の距離を検出する距離検出手段と、前記第二の距離に従って前記被検査物の断面形状を求める演算手段とを有する断面形状測定装置において、前記被検査物の所定の位置で、前記第一の距離を変化させた時の前記光電変換素子から検出される光点像位置信号から、前記第一の距離と光点像位置信号との関係を、複数種類の被検査物について取得するキャリブレーション手段を有し、前記演算手段は、前記被検査物表面を走査しながら、検出される前記第二の距離に、検出される前記光点像位置信号と、前記被検査物の種類に対応する前記第一の距離と光点像位置信号との関係とから得られる前記所定の位置までの補正値を加えて、前記被検査物の断面形状を求めることを特徴とする断面形状測定装置。
IPC (3)：
G01B 11/24 ,  G01B 11/30 ,  G02B 7/28
FI (3)：
G01B 11/24 C ,  G01B 11/30 Z ,  G02B 7/11 H
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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