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J-GLOBAL ID：200903032531270384

回路板製造用露光装置

Inventor：
石黒 宏幸

About 石黒 宏幸


Applicant, Patent owner：
松下電工株式会社

About 松下電工株式会社


Agent (1)： 西川 惠清 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999303379
Publication number (International publication number)：2001125274
Application date： Oct. 26, 1999
Publication date： May. 11, 2001
Summary：
【要約】【課題】 感光性材料が設けられた長尺の基材を順次露光することができ、しかもその露光精度を一定に保持することができると共に処理後の基材を側端面を揃えながらロール状に巻き取ることができる、回路板製造用露光装置を提供する。【解決手段】 基材1の配路における基材1の搬送に応じてロール状に巻回された基材1を一定の制動力をかけながら配路に繰り出す基材繰出部2を具備する。配路上の基材1を間欠的に搬送する基材送り駆動部3を具備する。基材送り駆動部3による基材1送りと同調して配路上の基材1を順次露光する露光部4を具備する。配路における基材1の搬送に応じて配路上の基材1を一定の張力をかけながらロール状に巻取る基材巻取部5を具備する。
Claim (excerpt)：
表面に感光性材料が設けられた長尺な基材が搬送される配路と、配路における基材の搬送に応じてロール状に巻回された基材を搬送方向とは反対向きの一定の制動力をかけながら配路に繰り出す基材繰出部と、配路上の基材を所定長ずつ間欠的に搬送する基材送り駆動部と、基材送り駆動部による基材送りと同調して配路上の基材を順次露光する露光部と、配路における基材の搬送に応じて配路上の基材を搬送方向へ一定の張力をかけながらロール状に巻取る基材巻取部を具備して成ることを特徴とする回路板製造用露光装置。
IPC (2)：
G03F 7/20 501 ,  H05K 3/00
FI (2)：
G03F 7/20 501 ,  H05K 3/00 H
F-Term (3)：
2H097AB08 ,  2H097DB12 ,  2H097LA09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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