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J-GLOBAL ID：200903032539422345

光学式膜計測装置

Inventor：
黒川 雅裕

About 黒川 雅裕

, 
高倉 毅

About 高倉 毅

, 
水畑 伸治

About 水畑 伸治


Applicant, Patent owner：
オムロン株式会社

About オムロン株式会社


Agent (1)： 中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003070026
Publication number (International publication number)：2004279178
Application date： Mar. 14, 2003
Publication date： Oct. 07, 2004
Summary：
【課題】計測対象物の位置決めを行うことなく、計測対象物の所定箇所における膜厚や色度などの膜特性を計測することができる光学式膜計測装置を提供する。【解決手段】光源22からの光を投光光学系23を通して計測対象物36に同軸落射照明する。計測対象物36で反射した光は結像光学系24によって光検出器26に結像される。その光路途中には、光検出器26に入射する像を所定波長域の分光画像に変換するための分光器25を設けている。信号処理部28内の計測点抽出部32は、光検出器26で撮像された画像から所定の膜厚計測点を決定し、膜厚計測点における画像信号を抽出して膜厚演算部33へ送信する。膜厚演算部33は、この信号から計測対象物36である薄膜の膜厚を計測する。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
計測対象物の所定の膜計測位置における膜の特性を計測する光学式膜計測装置であって、 前記膜計測位置よりも広い領域を観測エリアとする光検出器と、 前記光検出器により取り込まれた観測エリアの画像に基づいて前記膜計測位置を決定する手段と、 前記光検出器により取り込まれた観測エリアの画像のうちから、前記膜計測位置における信号を抽出する手段と、 前記信号抽出手段により抽出された信号に基づいて膜の特性を演算する手段と、を備えた光学式膜計測装置。
IPC (3)：
G01B11/06 ,  G01N21/27 ,  G01N21/35
FI (3)：
G01B11/06 H ,  G01N21/27 A ,  G01N21/35 Z
F-Term (46)：
2F065AA30 ,  2F065BB02 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065FF41 ,  2F065FF51 ,  2F065FF61 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL67 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ42 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2G059BB10 ,  2G059BB15 ,  2G059EE02 ,  2G059EE11 ,  2G059FF01 ,  2G059FF03 ,  2G059GG02 ,  2G059GG03 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ23 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM09 ,  2G059MM10
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (2)

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