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J-GLOBAL ID：200903032974165583

化学吸着膜の形成方法、及び化学吸着膜

Inventor：
豊田 直之

About 豊田 直之


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (3)： 西 和哉 ,  志賀 正武 ,  青山 正和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004217069
Publication number (International publication number)：2006035066
Application date： Jul. 26, 2004
Publication date： Feb. 09, 2006
Summary：
【課題】 均一な膜厚で強固に基材表面に結合した化学吸着膜を短時間で高効率に基材表面に形成する方法を提供する。【解決手段】 本発明の化学吸着膜の形成方法は、基材表面を親水化する親水処理工程ST1と、親水化された前記基材表面に酸または塩基を付着させる処理工程ST2と、酸または塩基が付着している基材表面に化学吸着剤を接触させ、同表面に化学吸着膜を形成する成膜工程ST3とを含む。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
基材表面に化学吸着膜を形成する方法であって、 前記基材の表面に酸または塩基を付着させる処理工程と、 前記処理工程後の基材と化学吸着剤とを接触させて前記基材表面に化学吸着剤を付着させる成膜工程と を含むことを特徴とする化学吸着膜の形成方法。
IPC (2)：
B01J 19/08 ,  C23C 26/00
FI (2)：
B01J19/08 K ,  C23C26/00 Z
F-Term (21)：
4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BA10 ,  4G075BB04 ,  4G075BB10 ,  4G075BD14 ,  4G075BD16 ,  4G075CA02 ,  4G075CA57 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4K044AA01 ,  4K044AA11 ,  4K044AA12 ,  4K044BA21 ,  4K044BB01 ,  4K044BB03 ,  4K044BB10 ,  4K044CA04 ,  4K044CA07 ,  4K044CA53
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (2)

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