Pat
J-GLOBAL ID：200903033004833059

ダイヤモンドライクカーボン膜形成装置およびダイヤモンドライクカーボン膜形成方法

Inventor：
内 富男

About 内 富男


Applicant, Patent owner：
大栄精工株式会社

About 大栄精工株式会社


Agent (1)： 宇高 克己
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998366658
Publication number (International publication number)：2000185997
Application date： Dec. 24, 1998
Publication date： Jul. 04, 2000
Summary：
【要約】【課題】 被成膜物の表面に良質なダイヤモンドライクカーボン膜を形成できる技術を提供することである。特に、内径が一様でないボトル状の被成膜物の内面全体に、良質なダイヤモンドライクカーボン膜を形成できる技術を提供することである。【解決手段】 内部を真空状態とすることができる反応容器と、この反応容器内に反応ガスを供給するための反応ガス供給手段と、この反応ガス供給手段によって前記反応容器内に供給された反応ガスに、放電処理を施すための放電手段とを具備し、前記反応容器内に被成膜物を配置し、前記反応ガス供給手段から前記反応容器内に反応ガスを供給して、前記放電手段を作動させることで、前記被成膜物にダイヤモンドライクカーボン膜が形成されるようにしたダイヤモンドライクカーボン膜形成装置であって、更に、前記反応容器内にガス状の希ガス類元素を供給するための希ガス類元素供給手段を具備し、前記放電手段による放電処理に先立って、前記反応容器内にガス状の希ガス類元素を供給できるよう構成されてなるダイヤモンドライクカーボン膜形成装置。
Claim (excerpt)：
内部を真空状態とすることができる反応容器と、この反応容器内に反応ガスを供給するための反応ガス供給手段と、この反応ガス供給手段によって前記反応容器内に供給された反応ガスに、放電処理を施すための放電手段とを具備し、前記反応容器内に被成膜物を配置し、前記反応ガス供給手段から前記反応容器内に反応ガスを供給して、前記放電手段を作動させることで、前記被成膜物にダイヤモンドライクカーボン膜が形成されるようにしたダイヤモンドライクカーボン膜形成装置であって、更に、前記反応容器内にガス状の希ガス類元素を供給するための希ガス類元素供給手段を具備し、前記放電手段による放電処理に先立って、前記反応容器内にガス状の希ガス類元素を供給できるよう構成されてなることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜形成装置。
IPC (2)：
C30B 29/04 ,  C23C 16/27
FI (2)：
C30B 29/04 C ,  C23C 16/26 A
F-Term (25)：
4G077AA03 ,  4G077BA03 ,  4G077DB07 ,  4G077DB17 ,  4G077EA05 ,  4G077EA06 ,  4G077EC09 ,  4G077EJ02 ,  4G077HA13 ,  4K030AA10 ,  4K030AA16 ,  4K030BA28 ,  4K030CA07 ,  4K030CA15 ,  4K030DA02 ,  4K030EA03 ,  4K030EA11 ,  4K030FA01 ,  4K030HA08 ,  4K030JA06 ,  4K030KA04 ,  4K030KA28 ,  4K030KA34 ,  4K030LA01 ,  4K030LA24
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM