Pat
J-GLOBAL ID：200903033245980184
熱時定数の小さい熱型赤外線検出器及びその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
池田 憲保
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002319384
Publication number (International publication number)：2004151054
Application date： Nov. 01, 2002
Publication date： May. 27, 2004
Summary：
【課題】高フレームレートの動作でも像流れを発生させず、且つ1/fノイズを増加させないことができる。【解決手段】第四絶縁保護膜8cをエッチングして第五絶縁保護膜8dとし、ダイアフラム5の全体を薄くすることにより、ダイアフラム5の熱容量を低減し熱時定数を小さくして、高フレームレートで動作できるようにしている。また、ボロメータ用薄膜7がダイアフラム5の全面にわたって形成されている。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
赤外線反射膜を表面に有する基板と、前記表面から空洞部を隔てて配置され、入射する赤外線を受け、受けた赤外線を吸収して発熱することにより赤外線の入射を検出する膜状の赤外線検出部と、当該赤外線検出部との相互間に隙間を設け、かつ前記赤外線検出部を前記基板から空洞部を隔てて支持する梁部と、導電性材料により所定個所を電気的に接続する電極部及び金属配線とで熱分離構造を形成する熱型赤外線検出器であって、
更に、前記赤外線検出部の前記梁部と隙間を隔てる外周部から、赤外線入射面側で相互間に空間を隔てて前記梁部を覆い、かつ前記赤外線検出部と共に赤外線の吸収機能を有する庇を備え、かつ
前記梁部の前記基板表面に垂直な方向の厚さが前記赤外線検出部の厚さより厚いことを特徴とする熱型赤外線検出器。
IPC (2)：
FI (3)：
G01J1/02 C
, G01J1/02 Q
, H01L37/00
2G065AA11
, 2G065AB02
, 2G065BA12
, 2G065BA14
, 2G065BA34
, 2G065BB50
, 2G065BE08
, 2G065CA13
, 2G065CA30
, 2G065DA20
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (2)
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