電子線を用いた観察装置及び観察方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：作田康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001204311
Publication number (International publication number)：2003014667
Application date： Jul. 05, 2001
Publication date： Jan. 15, 2003
Summary：

【要約】【課題】電子顕微鏡で観察される回折像を用いた各種結晶試料のナノメータ分解能を有する歪み、応力を測定し、2次元分布のための装置、手法方法を実現することを目的とする。【解決手段】電子線を試料に微小かつ平行に照射し、これにより得られる結晶構造を反映した回折像のスポット間距離を画素検出器もしくは位置検出器で測定し、測定位置情報と合わせて電子顕微鏡拡大像上に応力の2次元分布を重ねて表示する。【効果】高速かつ高分解能で微小な結晶中の歪み、応力を試料の構造情報に合せて表示できる。

Claim (excerpt)：

試料を試料ステージに載置する工程と、電子線を結晶試料の所定の領域を走査させながら照射する工程と、照射された電子線を用い所定の領域の拡大像を取得する工程と、前記電子線を結晶試料の所定の領域に照射し試料から放射される回折像を一対の第1の検出器で検出する工程と、を具備することを特徴とする電子線を用いた観察方法。

IPC (4)：

G01N 23/20 , G21K 5/04 , H01J 37/22 501 , H01J 37/295

FI (4)：

G01N 23/20 , G21K 5/04 M , H01J 37/22 501 J , H01J 37/295

F-Term (21)：

2G001AA03 , 2G001BA11 , 2G001BA18 , 2G001CA03 , 2G001DA06 , 2G001DA09 , 2G001DA10 , 2G001GA04 , 2G001GA05 , 2G001GA06 , 2G001HA13 , 2G001JA06 , 2G001JA07 , 2G001JA11 , 2G001JA13 , 2G001KA07 , 2G001KA08 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001NA07 , 2G001SA12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

単結晶試料等のX線応力測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-219398 Applicant：理学電機株式会社
走査型透過電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-033347 Applicant：株式会社日立製作所
結晶歪み測定方法、結晶歪み測定装置及び記録媒体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-250354 Applicant：日本電気株式会社

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