表面欠陥検査装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小島俊郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998272674
Publication number (International publication number)：2000097873
Application date： Sep. 28, 1998
Publication date： Apr. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】積層型電子写真感光体等の積層物の透明表面層に生じた縞状の疵等の表面欠陥を高感度で高速に検出する。【解決手段】感光体1の表面を検査するとき、ライン状照明装置8から出射した光を色フィルタ9を通し、感光体1の透明表面層の屈折率で定まるブリュースター角と一致する入射角で感光体1に入射する。感光体1の透明表面層からの反射光をS偏光のみを透過する偏光子11を通して1次元CCDセンサ10で受光して画像処理し感光体1の表面の欠陥を検出する。

Claim (excerpt)：

自然光又は偏光を被検査物に照射し、反射光を偏光子を通して被検査物の表面の欠陥を検査する表面欠陥検査装置において、被検査物の表面に被検査物の表面層の屈折率から決まるブリュースター角で光を入射し、被検査物表面層からの反射光をS偏光のみを透過する偏光子を通して撮像装置で受光することを特徴とする表面欠陥検査装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

欠陥評価装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-090594 Applicant：三井金属鉱業株式会社
シートのコーティング欠陥検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-103210 Applicant：石塚硝子株式会社
特開平2-201142

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