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J-GLOBAL ID：200903033436726636
分子状汚染物質の解析方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
永井 義久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006179330
Publication number (International publication number)：2008009701
Application date： Jun. 29, 2006
Publication date： Jan. 17, 2008
Summary：
【課題】分子状汚染物質の低気中濃度条件下における曝露時間と吸着量との関係式を導き出すことができる、分子状汚染物質の解析方法とする。【解決手段】所定の気中濃度及び曝露時間における吸着量を実測し、平衡吸着量を分子シミュレーションによって解析する。これらの値を吸着速度式に代入して吸着速度定数を算出する。この算出は所定の気中濃度を変化させて複数回行う。以上から気中濃度と吸着速度定数との相関関係式を求める。一方、計算圧力及び計算温度を分子シミュレーションに代入して平衡吸着量及び吸着エネルギーを解析する。これらの値をクラジウス・クラペイロン式に代入して所定の温度における圧力を算出し濃度に換算する。この算出は、計算温度を変化させて複数回行う。以上から気中濃度と平衡吸着量との概算関係式を求める。これらの式から低気中濃度条件下における吸着速度定数、平衡吸着量を算出し、吸着速度式に代入して曝露時間と吸着量との関係式を導き出す。【選択図】図9
Claim (excerpt)：
分子状汚染物質の低気中濃度条件下における曝露時間と吸着量との関係式を導き出す、分子状汚染物質の解析方法であって、
次記(1)から(4)によって気中濃度と吸着速度定数との相関関係式を求め、この相関関係式から前記低気中濃度条件下における吸着速度定数を算出するとともに、
次記(5)から(8)によって気中濃度と平衡吸着量との概算関係式を求め、この概算関係式から前記低気中濃度条件下における平衡吸着量を算出し、
前記低気中濃度条件下における吸着速度定数及び平衡吸着量を、吸着速度式に代入して曝露時間と吸着量との関係式を導き出す、ことを特徴とする分子状汚染物質の解析方法。
(1)所定の気中濃度及び曝露時間における吸着量を実測する。また、前記所定の気中濃度における平衡吸着量を前記実測にともなって又は分子シミュレーションによって解析する。
(2)前記(1)の曝露時間、吸着量及び平衡吸着量を吸着速度式に代入して前記所定の気中濃度における吸着速度定数を算出する。
(3)前記(1)及び前記(2)による吸着速度定数の算出は、前記所定の気中濃度を変化させて複数回行う。
(4)前記(1)から前記(3)で得た複数の気中濃度及び吸着速度定数から気中濃度と吸着速度定数との相関関係式を求める。
(5)計算圧力及び計算温度を分子シミュレーションに代入して平衡吸着量及び吸着エネルギーを解析する。
(6)前記(5)の計算圧力、計算温度及び吸着エネルギーをクラジウス・クラペイロン式に代入して所定の温度における圧力を算出する。この算出圧力は濃度に換算する。
(7)前記(5)及び前記(6)による平衡吸着量及び濃度の算出は、前記計算温度を変化させて複数回行う。
(8)前記(5)から前記(7)で得た複数の気中濃度及び平衡吸着量から気中濃度と平衡吸着量との概算関係式を求める。
IPC (3)：
G06F 19/00
, H01L 21/02
, F24F 7/06
G06F19/00 110
, H01L21/02 D
, F24F7/06 C
