電圧測定装置

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡辺正康 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995114297
Publication number (International publication number)：1996304516
Application date： May. 12, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】梁あるいは板ばねの先端に取り付けたEOプローブの傾きから光てこの原理でウエハ表面の位置を正確・高感度に検知する。【構成】電気光学効果を有するEOプローブを用い、このEOプローブでの反射光を受光し偏光面の回転角度を検出する手段を備え、回転角度から集積回路等の内部波形を非接触で測定する電圧測定装置において、集積回路表面にEOプローブを位置決めする際に一度EOプローブを集積回路表面に接触させた後指定量だけ上昇させる場合の接触位置検出用のものであって、EOプローブの反射面で反射した光のスポットを受けEOプローブの反射面の変位に応じた信号を得ることのできる分割フォトダイオードを備え、分割フォトダイオードの出力からEOプローブの集積回路表面への接触を検知できる接触位置検知手段を備える。

Claim (excerpt)：

電気光学効果を有するEOプローブを用い、このEOプローブでの反射光を受光し偏光面の回転角度を検出する手段を備え、前記回転角度から集積回路等の内部波形を非接触で測定する電圧測定装置において、前記集積回路表面に前記EOプローブを位置決めする際に一度EOプローブを集積回路表面に接触させた後指定量だけ上昇させる場合の接触位置検出用のものであって、EOプローブの反射面で反射した光のスポットを受けEOプローブの反射面の変位に応じた信号を得ることのできる分割フォトダイオードを備え、分割フォトダイオードの出力からEOプローブの集積回路表面への接触を検知できる接触位置検知手段を具備したことを特徴とする電圧測定装置。

IPC (3)：

G01R 31/302 , G01R 15/24 , G01R 19/00

FI (3)：

G01R 31/28 L , G01R 19/00 V , G01R 15/07 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

電気光学計測装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-181687 Applicant：株式会社テラテック
集積回路の電圧信号測定方法および測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-058351 Applicant：日本電信電話株式会社
特開平4-350568

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