波長検出制御装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：木村高久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998007603
Publication number (International publication number)：1999204856
Application date： Jan. 19, 1998
Publication date： Jul. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】全てのパルス発振に対して常に信頼性のあるフリンジパターンを検出して精度の高い波長及び線幅計測を行い、精度の高い波長制御を行う。【解決手段】連続パルス発振前に該パルス発振に関する指示を行うバーストオン信号あるいは各パルス発振に伴う電荷の蓄積を指示するチャージ信号等の予兆信号を用いて予兆トリガ39をハード的に生成し、この予兆トリガ39の入力により割込制御部41がラインセンサ31に蓄積された暗電流の掃出処理を行わせる。または、各パルス発振に伴うエネルギー値を指示するエネルギーデータあるいは各パルス発振に伴う高電圧値を指示する高電圧データ等の予兆信号をもとにコントローラ37が内部トリガ49をソフト的に生成し、この内部トリガ49の入力により割込制御部41がラインセンサ31に蓄積された暗電流の掃出処理を行わせる。これらの予兆信号は、各パルス発振に対し、予め決定された時間前に入力されるため、各パルス発振と暗電流の掃出処理とがバッティングせず、フリンジパターンの撮像前に可能な限り少ない暗電流にすることができる。

Claim (excerpt)：

少なくとも所定の波長をもつレーザ光を用いて所定の加工あるいは露光を行うレーザ加工装置からの指示制御に基づき、前記レーザ光を所定周期で連続パルス発振させる連続発振運転と、この連続発振運転後に前記連続パルス発振を所定時間停止または休止させる運転を繰り返すとともに、該レーザ光を分光する分光素子を有し、当該分光素子によるレーザ光の分光パターンを検出して該レーザ光の波長制御を行うレーザ装置の波長検出制御装置において、前記レーザ加工装置から送出される信号のうち、前記パルス発振開始前に該パルス発振に関する指示を行う予兆信号に基づき前記固体撮像素子に蓄積された暗電流の掃き出しを行わせる制御手段を具備したことを特徴とする波長検出制御装置。

IPC (3)：

H01S 3/00 , G01J 9/02 , H01S 3/137

FI (3)：

H01S 3/00 G , G01J 9/02 , H01S 3/137

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

撮像装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-221480 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
X線撮像装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-288676 Applicant：東芝メディカルエンジニアリング株式会社, 株式会社東芝
X線撮像装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-269026 Applicant：日立電子株式会社, 株式会社日立メディコ

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