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J-GLOBAL ID：200903033979966866

粒子光学装置用環境セル

Inventor：
バルト ブイッセ

About バルト ブイッセ


Applicant, Patent owner：
エフ イー アイ カンパニ

About エフ イー アイ カンパニ


Agent (3)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009077936
Publication number (International publication number)：2009245944
Application date： Mar. 27, 2009
Publication date： Oct. 22, 2009
Summary：
【課題】 本発明はたとえば電子顕微鏡で使用される環境セルに関する。【解決手段】 当該環境セルは、前記電子顕微鏡によって生成されたビームを、当該環境セル内部に設けられた試料にまで通過させるアパーチャ(15)を有する。本発明による環境セルは、当該環境セルの一部分(14)が、たとえば後方散乱電子又はX線のような2次放射線に対して透明であることを特徴とする。これにより、当該環境セルの外部に設けられた検出器によってこの放射線を検出することが可能となる。前記検出器が当該環境セルの外部に設けられることによって、当該セルの構成をはるかに単純にすることが可能となる。【選択図】 図2A
Claim (excerpt)：
粒子光学装置で試料像を生成する方法であって、 当該方法は: 粒子光軸に沿って粒子ビームを発生させるように備えられている粒子光学鏡筒を有する粒子光学装置を供する手順; 前記鏡筒に対向するアパーチャを有する環境セルを供する手順であって、前記アパーチャは前記粒子光軸を取り囲み、当該環境セルは真空に曝露されるように備えられ、当該環境セルは容積を内部に有し、該容積内には試料を設けることが可能で、当該環境セルは前記アパーチャにわたる差圧に耐えられるように備えられ、当該環境セルの材料は流体に対して実質的に影響を受けない、手順; 当該環境セル内に試料を供する手順; 前記粒子ビームが前記試料に衝突する結果、前記試料から放出される2次放射線を検出する検出器を供する手順; 前記アパーチャと前記粒子光学鏡筒との間の領域を排気する手順; 前記アパーチャを通り抜けて前記試料へ向かうように前記粒子ビームを案内する手順;及び 前記粒子ビームによる前記試料の照射に応答して前記試料から放出される可視光以外の2次放射線を検出する手順; を有し、 当該環境セルの材料の少なくとも一部が可視光以外の2次放射線に対して透明であること、及び 検出器が当該環境セルの外部に設けられ、前記検出器は前記2次放射線に対して透明な当該環境セルの一部を通り抜ける前記2次放射線を検出するように備えられ、前記2次放射線は可視光以外である、 ことを特徴とする方法。
IPC (2)：
H01J 37/20 ,  G01N 23/225
FI (2)：
H01J37/20 A ,  G01N23/225
F-Term (22)：
2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001BA05 ,  2G001BA07 ,  2G001BA15 ,  2G001CA01 ,  2G001CA03 ,  2G001DA02 ,  2G001GA06 ,  2G001MA01 ,  2G001MA02 ,  2G001PA07 ,  2G001PA11 ,  2G001QA02 ,  2G001QA10 ,  2G001RA04 ,  2G001SA01 ,  5C001AA01 ,  5C001BB03 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C001DD01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (2)

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