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J-GLOBAL ID:200903003563233049
試料検査装置及び試料検査方法並びに試料検査システム
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006123711
Publication number (International publication number):2007292702
Application date: Apr. 27, 2006
Publication date: Nov. 08, 2007
Summary:
【課題】 膜に保持された試料の試料交換を迅速に行うことができるとともに、分解能の低下を防ぐことができ、また真空室内の汚染を防止することができる試料検査装置及び試料検査方法並びに試料検査システムを提供する。【解決手段】 試料検査装置は、第1の面32aに試料20が保持される膜32と、膜32の第2の面に接する雰囲気を減圧する真空室11と、真空室11に接続され、膜32を介して試料20に一次線7を照射する一次線照射手段1と、一次線7の照射により試料20から発生する二次的信号を検出する信号検出手段4と、真空室11内において、32膜と一次線照射手段1との間の空間を仕切るための開閉バルブ14とを備える。【選択図】図1
Claim (excerpt):
第1の面に試料が保持される膜と、該膜の第2の面に接する雰囲気を減圧する真空室と、該真空室に接続され、該膜を介して試料に一次線を照射する一次線照射手段と、一次線の照射により試料から発生する二次的信号を検出する信号検出手段と、該真空室内において、該膜と該一次線照射手段との間の空間を仕切るための開閉バルブとを備える試料検査装置。
IPC (4):
G01N 23/225
, H01J 37/28
, H01J 37/20
, G01N 23/203
FI (6):
G01N23/225
, H01J37/28 B
, H01J37/20 A
, H01J37/20 B
, H01J37/20 Z
, G01N23/203
F-Term (42):
2G001AA03
, 2G001AA05
, 2G001AA10
, 2G001BA05
, 2G001BA07
, 2G001BA15
, 2G001BA29
, 2G001BA30
, 2G001CA01
, 2G001CA03
, 2G001CA07
, 2G001DA02
, 2G001DA06
, 2G001GA06
, 2G001GA08
, 2G001GA16
, 2G001HA09
, 2G001HA13
, 2G001JA02
, 2G001JA12
, 2G001JA14
, 2G001KA20
, 2G001LA01
, 2G001MA02
, 2G001PA07
, 2G001PA11
, 2G001PA14
, 2G001QA01
, 2G001QA10
, 2G001RA02
, 2G001RA05
, 2G001RA10
, 2G001SA01
, 2G001SA08
, 2G001SA29
, 5C001AA01
, 5C001AA02
, 5C001AA07
, 5C001BB07
, 5C001CC04
, 5C001DD01
, 5C033UU03
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
-
走査型電子顕微鏡を用いた非真空環境内のサンプルの検査のための装置および方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2002-547196
Applicant:エダリサーチアンドディベロップメントカンパニー,リミティド, エル-マルテクノロジーズリミティド
-
特開昭47-24961号公報
-
電子顕微鏡等の試料ホルダ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-005828
Applicant:株式会社蛋白工学研究所, 日本電子株式会社
Cited by examiner (14)
-
サンプルを含む流体のSEM検査のための方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2004-511867
Applicant:クアントミックス・リミテッド
-
湿った環境中の走査型電子顕微鏡のための低圧チャンバー
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2004-511866
Applicant:イェダ・リサーチ・アンド・ディヴェロプメント・カンパニー・リミテッド
-
特開昭48-047394
-
特開昭48-047394
-
電子プローブマイクロアナライザ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-086562
Applicant:日本電子株式会社
-
特開昭52-002785
-
特開昭48-047394
-
特開昭52-002785
-
走査電子顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-070055
Applicant:株式会社エリオニクス
-
特開昭52-002785
-
走査型電子顕微鏡を用いた非真空環境内のサンプルの検査のための装置および方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2002-547196
Applicant:エダリサーチアンドディベロップメントカンパニー,リミティド, エル-マルテクノロジーズリミティド
-
電子顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-337967
Applicant:国立大学法人北海道大学, 独立行政法人産業技術総合研究所, 株式会社テクネックス工房
-
電子ビーム照射装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-388328
Applicant:ソニー株式会社
-
荷電粒子線装置及びデバイス製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-045944
Applicant:株式会社ニコン
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