微小機械部品及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995065910
Publication number (International publication number)：1995311218
Application date： Mar. 24, 1995
Publication date： Nov. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】動作性能が良好に改善され、かつ、使用用途が大幅に拡張された微小機械部品及びその製造方法を提供する。【構成】この加速度センサは、基板10上にi型ダイヤモンド層20及びp型ダイヤモンド層50を順次積層して形成されている。梁部50cの先端側は、支持部50b及び基部50aによって片持梁状に支持されている。梁部50cの下方に位置するi型ダイヤモンド層20の表面領域には、電極層30がその表面を露出して埋め込まれている。これにより、i型ダイヤモンド層20は、基板10に固定された基部として機能する。一方、p型ダイヤモンド層50は、この基部に支持されて外部応力に対応して相対的に駆動する駆動部として機能する。

Claim (excerpt)：

基部と、この基部に支持されて当該基部に対して相対的に駆動する少なくとも一つの駆動部とを備える微小機械部品において、前記駆動部は、ダイヤモンド層で形成されていることを特徴とする微小機械部品。

IPC (3)：

G01P 15/12 , C23C 16/26 , H01L 29/84

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

測定装置等に使用するユニツト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-291005 Applicant：デビアスインダストリアルダイアモンドデイビジヨン(プロプライエタリイ)リミテツド
圧力センサおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-121038 Applicant：日本電気株式会社
特開平3-135702

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Cited by examiner (4)

測定装置等に使用するユニツト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-291005 Applicant：デビアスインダストリアルダイアモンドデイビジヨン(プロプライエタリイ)リミテツド
圧力センサおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-121038 Applicant：日本電気株式会社
特開平3-135702

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