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J-GLOBAL ID：200903034367029320

直立型超格子、デバイス及び直立型超格子の製造方法。

Inventor：
平本 昌宏

About 平本 昌宏


Applicant, Patent owner：
科学技術振興事業団

About 科学技術振興事業団


Agent (1)： 野口 繁雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002265713
Publication number (International publication number)：2004103939
Application date： Sep. 11, 2002
Publication date： Apr. 02, 2004
Summary：
【課題】表面の面内方向に厚さが微細に制御された超格子を得る。【解決手段】▲1▼絶縁材、例えばエポキシ樹脂により、平坦な表面を持つ絶縁基板20を作る。▲2▼その絶縁基板20上に、例えば、トータルの膜厚が1μmになるように、例えば蒸着法によりH2Pc層22とMe-PTC層24の積層体を堆積する。▲3▼積層体の堆積後、絶縁材26によりその積層体を包埋、すなわち積層体全体を絶縁材中に埋め込む。絶縁材26としては基板20と同じ材料を用いるのが好ましい。▲4▼最後に、ナノメータの精度で位置制御が可能な、ウルトラミクロトームを使って、薄膜面に対して垂直にスライスして、切片28を得る。【選択図】 図6
Claim (excerpt)：
複数層薄膜からなる超格子構造をもち、その超格子の断面のうち互いに反対方向を向く一対の面が表面となっていることを特徴とする直立型超格子。
IPC (3)：
H01L31/107 ,  H01L31/08 ,  H01L51/10
FI (2)：
H01L31/10 B ,  H01L31/08 T
F-Term (9)：
5F049MA09 ,  5F049MB08 ,  5F049PA20 ,  5F049QA16 ,  5F049SE05 ,  5F088AA05 ,  5F088AB11 ,  5F088AB13 ,  5F088FA05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
  • 特開平4-034983
  • ヘテロ接合素子
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-099252   Applicant：シャープ株式会社
  • 偏光スイッチングレーザ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-020010   Applicant：日本電信電話株式会社
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