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J-GLOBAL ID：200903034497469756

アルキルビニールエーテルの共重合体を含む感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物

Inventor： 崔相俊 ,  金賢友
Applicant, Patent owner： 三星電子株式会社
Agent (1)： 大塚 康徳 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001012171
Publication number (International publication number)：2001200016
Application date： Jan. 19, 2001
Publication date： Jul. 24, 2001
Summary：

【要約】【課題】 アルキルビニールエーテルの共重合体を含む感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物を提供する。【解決手段】 下記式で表わされるアルキルビニールエーテルと無水マレイン酸との共重合体を含む。【化58】(式中、Xはおのおの下記の構造式から選ばれたいずれか一つの構造を有する線形または環状のアルキルビニールエーテルである。)【化59】(式中、yは1〜4であり、R1は水素原子またはメチル基であり、R2はC1〜C20の炭化水素基であり、R3は水素原子、C1〜C3のアルキル基またはアルコキシ基である。)

Claim (excerpt)：

下記式で表わされるアルキルビニールエーテルと無水マレイン酸との共重合体を含む感光性ポリマー。【化1】(式中、Xはおのおの下記の構造から選ばれたいずれか一つの構造を有する、線形または環状のアルキルビニールエーテルである。)【化2】(式中、yは1〜4であり、R1は水素原子またはメチル基であり、R2はC1〜C20の炭化水素基であり、R3は水素原子、C1〜C3のアルキル基またはアルコキシ基である。 )

IPC (12)：

C08F216/14 ,  C08F220/18 ,  C08F222/06 ,  C08F232/04 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/16 ,  C08L 29/10 ,  C08L 33/06 ,  C08L 35/08 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (12)：

C08F216/14 ,  C08F220/18 ,  C08F222/06 ,  C08F232/04 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/16 ,  C08L 29/10 ,  C08L 33/06 ,  C08L 35/08 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 塗被紙用顔料分散剤
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-036928   Applicant：電気化学工業株式会社
• 感光性樹脂組成物及び感光性転写シート
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-011907   Applicant：富士写真フイルム株式会社
• 化学増幅型レジスト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-279070   Applicant：三星電子株式会社
• アルキルビニルエーテル/無水マレイン酸共重合体の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-354933   Applicant：株式会社日本触媒