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J-GLOBAL ID：200903034528768803
窒化アルミニウム薄膜及びそれを用いた圧電薄膜共振子
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
山下 穣平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003106549
Publication number (International publication number)：2004312611
Application date： Apr. 10, 2003
Publication date： Nov. 04, 2004
Summary：
【課題】電気機械結合係数が大きく、音響的品質係数(Q値)に優れ、帯域幅、挿入損失などの特性面での向上に有利な圧電薄膜共振子を提供する。【解決手段】基板12のビアホール20に面する位置にて、酸化シリコンまたは窒化シリコンを主成分とする誘電体膜からなる絶縁体層13、下部電極15、圧電体薄膜16および上部電極17がこの順に積層された圧電積層構造体14を備える。圧電体薄膜16は、c軸配向を示す厚さ0.5〜3.0μmの窒化アルミニウム薄膜であって、(0002)回折ピークのロッキング・カーブ半値幅(FWHM)が3.0 ゚以下である。下部電極15は、タンタルを主成分とする厚さ2000nm未満の金属薄膜であって、そのX線回折ピークにおいて、正方晶β相の(002)回折ピークのピーク強度Iβと立方晶α相の(110)回折ピークのピーク強度Iαとの強度比Iα/Iβが0.1以下である。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
タンタルを主成分とする厚さ2000nm未満の金属薄膜の表面上に形成されたc軸配向を示す窒化アルミニウム薄膜であって、(0002)回折ピークのロッキング・カーブ半値幅(FWHM)が3.0 ゚以下であることを特徴とする窒化アルミニウム薄膜。
IPC (3)：
H03H9/17
, H01L41/09
, H01L41/18
H03H9/17 F
, H03H9/17 Z
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101Z
5J108AA00
, 5J108BB08
, 5J108CC04
, 5J108CC11
, 5J108KK07
Cited by applicant (2)
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光記録媒体
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平7-033352
Applicant：旭化成工業株式会社
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窒化アルミニウム薄膜-金属電極積層体およびそれを用いた薄膜圧電共振子
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2001-394388
Applicant：宇部エレクトロニクス株式会社
Cited by examiner (2)
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光記録媒体
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平7-033352
Applicant：旭化成工業株式会社
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窒化アルミニウム薄膜-金属電極積層体およびそれを用いた薄膜圧電共振子
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2001-394388
Applicant：宇部エレクトロニクス株式会社
Article cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (1)
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