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J-GLOBAL ID：200903034822536023

エレクトレットコンデンサー

Inventor： 山岡 徹 ,  小倉 洋
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (3)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003429469
Publication number (International publication number)：2005191208
Application date： Dec. 25, 2003
Publication date： Jul. 14, 2005
Summary：

【課題】耐湿性に優れ、小型、高信頼性、高性能なシリコン酸化膜をエレクトレットとするエレクトレットコンデンサーを提供する。【解決手段】空孔10が形成された第1電極11と、空孔と接続するエアギャップ15と、第2電極16とを備え、第1電極にシリコン酸化膜4からなるエレクトレット膜が形成され、エアギャップ15とエレクトレット膜は第1電極と第2電極の間に形成される。エレクトレット膜は、前記シリコン酸化膜の上面及び下面に絶縁膜が形成され、前記第2電極は振動膜となることを特徴とするものである。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

空孔が形成された第1電極と、 前記空孔と接続するエアギャップと、 シリコン酸化膜からなるエレクトレット膜が形成された第2電極とを備え、 前記エアギャップと前記エレクトレット膜は前記第1電極と前記第2電極の間に形成され、 前記エレクトレット膜は、前記シリコン酸化膜の上面及び下面に絶縁膜が形成され、 前記第2電極は振動膜となることを特徴とするエレクトレットコンデンサー。

IPC (1)：

H01G7/02

FI (1)：

H01G7/02 B

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• シリコン酸化膜エレクトレット及びエレクトレットコンデンサマイクロホン
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-138536   Applicant：南内嗣, ホシデン株式会社

Cited by examiner (3)

• エレクトレット
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-092817   Applicant：松下電工株式会社
• シリコン酸化膜エレクトレット及びエレクトレットコンデンサマイクロホン
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-138536   Applicant：南内嗣, ホシデン株式会社
• 特公昭60-046600