Pat
J-GLOBAL ID:200903035108485250
光半導体装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
光石 俊郎
, 田中 康幸
, 松元 洋
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005247030
Publication number (International publication number):2007066930
Application date: Aug. 29, 2005
Publication date: Mar. 15, 2007
Summary:
【課題】 InGaAs基板上の高歪量子井戸構造の結晶性の向上と熱抵抗を低減する。【解決手段】 InGaAs基板1の上に、歪量子井戸構造αを構成する。この歪量子井戸構造αの量子井戸層4,6,8は、発振波長が通信帯波長となるように高圧縮歪となっている。この圧縮歪を歪補償するため、引張り歪となるGaAs層を含むInGaAs/GaAs障壁層3,5,7,9を、量子井戸層4,6,8の間に積層形成する。これにより、歪によるミスフィット転位や欠陥の発生が緩和される。また2元結晶であるGaAsは熱抵抗が低減し温度上昇を抑制することができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
3元混晶の半導体結晶InxGa1-xAsからなる基板の上に、活性層として形成される歪量子井戸構造において、
前記歪量子井戸構造は、圧縮歪量子井戸層とGaAsを含む障壁層とから成ることを特徴とする光半導体装置。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (14):
5F173AC03
, 5F173AC13
, 5F173AF05
, 5F173AF07
, 5F173AF15
, 5F173AG12
, 5F173AH02
, 5F173AH03
, 5F173AH04
, 5F173AJ03
, 5F173AJ13
, 5F173AP05
, 5F173AR72
, 5F173AR82
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
Cited by examiner (4)