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J-GLOBAL ID：200903035134041912

パターン検査方法及び検査装置

Inventor：
桑原 雅之

About 桑原 雅之


Applicant, Patent owner：
株式会社東京精密

About 株式会社東京精密


Agent (1)： 石田 敬 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002013359
Publication number (International publication number)：2003215060
Application date： Jan. 22, 2002
Publication date： Jul. 30, 2003
Summary：
【要約】【課題】 雑音量の低い領域では非常に高感度の検査が可能で、雑音量の高い領域では擬似欠陥の発生を抑えて検査することが可能パターン検査方法及び装置の実現。【解決手段】 被検査物1上のパターンを捕らえる画像生成部10と、画像生成部の捕らえた異なる箇所の同一パターン部分のグレイレベルの差を算出して差の大きな部分を欠陥として検出する欠陥検出部20とを備えるパターン検査装置であって、被検査物上のパターンを、複数の検査領域に分割し、各検査領域毎に欠陥検出の検査感度を対応付けたレシピを記憶する位置情報レシピ記憶部27を備え、欠陥検出部は、各検査領域における欠陥検出を、前記レシピに記憶した前記検査感度で行う。
Claim (excerpt)：
被検査物上の異なる箇所の同一パターン部分のグレイレベルの差を算出して差の大きな部分を欠陥として検出するパターン検査方法であって、前記被検査物上のパターンを、複数の検査領域に分割し、各検査領域毎に欠陥検出の検査感度を対応付けたレシピを記憶し、各検査領域における欠陥検出を前記レシピに記憶した前記検査感度で行うことを特徴とするパターン検査方法。
IPC (4)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/24 ,  G06T 1/00 305 ,  H01L 21/66
FI (4)：
G01N 21/956 A ,  G06T 1/00 305 A ,  H01L 21/66 J ,  G01B 11/24 F
F-Term (41)：
2F065AA54 ,  2F065AA61 ,  2F065BB02 ,  2F065CC18 ,  2F065CC19 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR04 ,  2F065UU05 ,  2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051EC05 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ18 ,  5B057AA03 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DC16 ,  5B057DC22 ,  5B057DC33 ,  5B057DC36
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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