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J-GLOBAL ID:200903035181893315

オゾンガスの自己分解抑制方法及びそれに使用する装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 北谷 寿一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998368762
Publication number (International publication number):2000191305
Application date: Dec. 25, 1998
Publication date: Jul. 11, 2000
Summary:
【要約】【課題】 オゾンガスの自己分解を抑制出来る方法及びその設備を提供する。【解決手段】 オゾンガスを取り扱う設備の接ガス面にオゾン濃度20 vol%以上のオゾンガスを作用させて接ガス面に酸化不動態膜を形成する。
Claim (excerpt):
オゾンガスを取り扱う設備の接ガス面にオゾン濃度20 vol%以上のオゾンガスを作用させて接ガス面に酸化不動態膜を形成したこと特徴とするオゾンガスの自己分解抑制方法。
IPC (2):
C01B 13/10 ,  A61L 2/20
FI (2):
C01B 13/10 D ,  A61L 2/20 J
F-Term (8):
4C058AA01 ,  4C058BB07 ,  4C058EE30 ,  4C058JJ14 ,  4C058JJ28 ,  4G042AA06 ,  4G042AA07 ,  4G042AA08
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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