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J-GLOBAL ID:200903035911366014
レーザ装置およびレーザ加工装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
宮田 金雄 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000221991
Publication number (International publication number):2002035979
Application date: Jul. 24, 2000
Publication date: Feb. 05, 2002
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】 高速加工の際には、単一のレーザ特性のレーザビームしか用いられなかったため、自由度の高い加工を行うことが困難であった。【解決手段】 1台のレーザ光光源1から供給されたレーザビームを複数の光路に高速に方向変換3し、複数の光路にそれぞれレーザ光の光学特性を調節するアパーチャ7a,7b、偏光方向回転素子4、集光レンズ5a,5b等の光学素子を配置して、レーザ特性の異なる複数のレーザビームとした後、各レーザビームの光軸を一致させ加工機へ入射させることにより自由度の高い加工を行う。
Claim (excerpt):
レーザ光を供給するレーザ光光源と、前記レーザ光のビーム方向を複数の光路に変換させるビーム方向変換素子と、前記複数の光路から入射した前記レーザ光を所定の一方向に出射させる第1の光学素子と、前記第1の光学素子の前段に配置され、前記複数の光路中の各レーザ光の光学特性をそれぞれ異ならせるように調節する第2の光学素子と、を備えたことを特徴とするレーザ装置。
IPC (7):
B23K 26/06
, G02B 26/10 104
, G02B 27/28
, G02F 1/33
, H01S 3/00
, H01S 3/07
, H01S 3/098
FI (8):
B23K 26/06 E
, B23K 26/06 C
, G02B 26/10 104 Z
, G02B 27/28 Z
, G02F 1/33
, H01S 3/00 B
, H01S 3/07
, H01S 3/098
F-Term (23):
2H045AB01
, 2H045BA15
, 2H045BA26
, 2H045CB24
, 2H045DA11
, 2H045DA31
, 2H099AA17
, 2H099BA17
, 2H099CA02
, 2H099CA06
, 2H099CA08
, 2H099DA09
, 2K002AA04
, 2K002AB06
, 2K002AB07
, 2K002HA10
, 4E068CD03
, 4E068CD05
, 4E068CD08
, 5F072JJ20
, 5F072KK30
, 5F072MM20
, 5F072YY06
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
-
レーザマーキング装置およびレーザマーキング方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-206147
Applicant:ウシオ電機株式会社
-
高精度微細穴加工装置及び加工方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-314683
Applicant:ソニー株式会社
-
レーザ加工装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-167099
Applicant:日本電気株式会社
-
配線板の接続方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-184898
Applicant:矢崎総業株式会社
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