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J-GLOBAL ID:200903036140961159
加速度測定装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
中平 治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997341805
Publication number (International publication number):1998177033
Application date: Nov. 07, 1997
Publication date: Jun. 30, 1998
Summary:
【要約】【目的】 安価に製造可能で精雅な寸法を持つ加速度測定装置を提供する。【構成】 加速度測定装置は、共通な基板10上に設けられかつそれぞれ1つの主感度軸12a,12cを持つ少なくとも2つの個別センサ2a,2cを含み、各個別センサ2a,2cは、撓み梁4a,4cに結合されかつ重心Sa,Scを持つ地震質量としての片持ちパドル片3a,3cを持つている。各撓み梁4a,4cは地震質量の偏向を測定する手段それぞれを持ち、すべての撓み梁は基板10の表面に対して平行に設けられている。それぞれの個別センサ2a,2cの主感度軸12a,12cは、基板表面の法線14a,14cに対してそれぞれ位相角αを持つている。
Claim (excerpt):
a)加速度測定装置が、共通な基板(10;26)上に設けられかつそれぞれ主感度軸(12a〜12d;22a,22b)を持つ少なくとも2つの個々の個別センサ(2a〜2d;17a,17b)を含み、b)各個別センサ(2a〜2d;17a,17b)が、撓み梁(4a〜4d;19a,19b)に結合されかつ重心(Sa,Sb,Sc,Sd;SA,SB)を持つ地震質量としての片持ちパドル片(3a〜3d;18a,18b)を持ち、c)各撓み梁(4a〜4d;19a,19b)が地震質量の偏向を測定する手段を持ち、d)すべての撓み梁(4a〜4d;19a,19b)が基板(10;26)の表面に対して平行に設けられているものにおいて、それぞれの個別センサ(2a〜2d;17a,17b)の主感度軸(12a〜12d;22a,22b)が基板表面の法線(13a〜13d;23a,23b)に対してそれぞれ位相角(α;α′)を持つていることを特徴とする、加速度測定装置。
IPC (2):
FI (2):
Patent cited by the Patent: