Pat
J-GLOBAL ID:200903036264564883
3次元形状測定方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
篠原 泰司
, 藤中 雅之
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004146353
Publication number (International publication number):2005326344
Application date: May. 17, 2004
Publication date: Nov. 24, 2005
Summary:
【課題】信頼性の高い形状測定結果を得ることができる3次元形状測定方法を提供する。 【解決手段】3次元形状測定方法は、被測定物の回転軸方向と直交する方向から測定を行う補正値測定ステップが、被測定物2の保持部材3と回転機構5の位置関係を第1の相対位置にして測定を行うステップと、前記第1の位置関係とは異なる第2の相対位置にして測定を行う第2ステップを少なくとも有する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
被測定物を回転させながら回転軸方向から測定を行う形状測定ステップと、前記回転軸方向と直交する方向から測定を行う補正値測定ステップと、前記形状測定ステップの測定結果と前記補正値測定ステップの測定結果から前記被測定物の3次元形状を得る算出ステップとを備えた3次元形状測定方法であって、
前記補正値測定ステップは、保持部材と回転機構の位置関係を第1の相対位置にして測定を行う第1サブステップと、前記第1の位置関係とは異なる第2の相対位置にして測定を行う第2サブステップを少なくとも有することを特徴とする3次元形状測定方法。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (17):
2F069AA21
, 2F069AA66
, 2F069CC05
, 2F069DD30
, 2F069EE04
, 2F069EE11
, 2F069EE22
, 2F069GG01
, 2F069GG52
, 2F069GG56
, 2F069GG59
, 2F069GG62
, 2F069HH02
, 2F069JJ05
, 2F069JJ17
, 2F069JJ19
, 2F069LL02
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
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3次元形状測定機
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-143420
Applicant:キヤノン株式会社
Cited by examiner (5)
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3次元形状測定機
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-143420
Applicant:キヤノン株式会社
-
光学素子形状測定方法及び装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-230398
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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特開平2-161305
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形状測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-189462
Applicant:株式会社ニコン
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表面形状測定
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平9-521083
Applicant:テイラーホブソンリミテッド
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Article cited by the Patent:
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