製造装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003047805
Publication number (International publication number)：2003313655
Application date： Feb. 25, 2003
Publication date： Nov. 06, 2003
Summary：

【要約】【課題】 EL材料の利用効率が高く、膜の均一性にすぐれた蒸着装置を提供する。【解決手段】本発明は、移動可能な蒸着源と、基板の回転手段とを備えた蒸着装置とし、蒸着源ホルダ17と被蒸着物(基板13)との間隔を30cm以下、好ましくは20cm以下、さらに好ましくは5〜15cmと狭め、さらに蒸着の際、蒸着源ホルダ17をX方向またはY方向に移動させるとともに被蒸着物(基板13)を回転または固定させて成膜を行う。

Claim (excerpt)：

基板に対向して配置した蒸着源から蒸着材料を蒸着させて前記基板上に成膜を行う成膜装置であって、前記基板が配置される成膜室には、蒸着源と、該蒸着源を移動する手段と、基板を回転する手段とを有し、前記蒸着源を移動させ、且つ、同時に前記基板を回転させて成膜を行うことを特徴とする成膜装置を有する製造装置。

IPC (4)：

C23C 14/24 , C23C 14/50 , H05B 33/10 , H05B 33/14

FI (5)：

C23C 14/24 S , C23C 14/24 C , C23C 14/50 J , H05B 33/10 , H05B 33/14 A

F-Term (10)：

3K007AB17 , 3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029BD00 , 4K029DB00 , 4K029DB06 , 4K029DB23 , 4K029EA00 , 4K029JA08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭61-284569
成膜装置及び成膜方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-394259 Applicant：株式会社半導体エネルギー研究所
有機エレクトロルミネッセンス素子及びパネルの製造方法と製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-204006 Applicant：日本電気株式会社

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