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J-GLOBAL ID：200903036494835657

マスキング用粘着テープ及びその使用方法

Inventor：
古田 喜久

About 古田 喜久


Applicant, Patent owner：
日東電工株式会社

About 日東電工株式会社


Agent (1)： 鈴木 崇生 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001391296
Publication number (International publication number)：2003193226
Application date： Dec. 25, 2001
Publication date： Jul. 09, 2003
Summary：
【要約】【課題】 耐熱性を有するシリコーン系粘着剤の凝集力を高めることで、高温下でのマスキング後の糊残りを生じにくくし、好ましくは、柔軟性に優れたふっ素樹脂フィルムを基材に用いる事により、簡易な貼り付けによる良好な作業性が得られるマスキング用粘着テープ、及びその使用方法を提供する。【解決手段】 スパッタリングターゲットのターゲット材とバッキングプレート材とを半田で接合する際に、余分な半田をマスキングするために用いられるマスキング用粘着テープであって、トルエン不溶解分が35%以上のシリコーン系粘着剤からなる粘着剤層を基材の片面側に形成してある。
Claim (excerpt)：
スパッタリングターゲットのターゲット材とバッキングプレート材とを半田で接合する際に、余分な半田をマスキングするために用いられるマスキング用粘着テープであって、トルエン不溶解分が35%以上のシリコーン系粘着剤からなる粘着剤層を基材の片面側に形成してあることを特徴とするマスキング用粘着テープ。
IPC (3)：
C23C 14/34 ,  C09J 7/02 ,  C09J183/04
FI (3)：
C23C 14/34 C ,  C09J 7/02 Z ,  C09J183/04
F-Term (9)：
4J004AA11 ,  4J004CA05 ,  4J004CC02 ,  4J004FA04 ,  4J040EK031 ,  4J040MA10 ,  4J040NA19 ,  4K029DC22 ,  4K029DC24
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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