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J-GLOBAL ID：200903036585575208

レーザ顕微鏡

Inventor：
上田 勝英

About 上田 勝英


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社

, 
日本電子ライオソニック株式会社

About 日本電子ライオソニック株式会社


Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996042259
Publication number (International publication number)：1997236640
Application date： Feb. 29, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：
【要約】【課題】 大きな試料であっても破損の危険のない試料ホルダを備えたレーザ顕微鏡を実現する。【解決手段】 ホルダ20は中心部に比較的大きな径の開口22が穿たれ、この開口22にはアクリル樹脂等のレーザ光を透過する透明板23が嵌め込まれており、試料1の裏面はホルダ20と透明板23の表面とに面接触されている。このホルダ20上に試料1をセットし、排気管26、排気孔25を介して溝24内を排気することにより、試料1はホルダ20に真空チャックされる。この後、マニピュレータ5を操作し、電極6を試料1の任意の部分に接触させ、レーザ光を透明板23を透過させて試料1の裏面に照射し、OBIC像の観察を行う。この際、試料1の観察箇所には、電極6が押し付けられるが、試料1の裏面は透明板23とホルダ20の表面に密着されていることから、試料1が割れたりする事故は防止される。
Claim (excerpt)：
試料の表面に設けられ、試料の特定箇所への電圧の印加とOBIC検出のための電極を操作するマニピュレータと、試料の裏面からレーザ光を照射する光学系と、試料を保持するホルダとを備えており、ホルダの少なくともレーザ光を通す部分を透明な板で形成したレーザ顕微鏡。
IPC (3)：
G01R 31/302 ,  G02B 21/00 ,  H01L 21/66
FI (3)：
G01R 31/28 L ,  G02B 21/00 ,  H01L 21/66 C
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
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