Pat
J-GLOBAL ID:200903036886477848
耐熱性樹脂前駆体組成物
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
伊藤 穣
, 清水 猛
, 武井 英夫
, 鳴井 義夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002164054
Publication number (International publication number):2004010697
Application date: Jun. 05, 2002
Publication date: Jan. 15, 2004
Summary:
【課題】各種金属面を含む基板への高い接着性を有する耐熱性樹脂組成物、それを用いた硬化被膜の形成方法、及びその硬化被膜を有してなる半導体装置を提供する。【解決手段】耐熱性樹脂前駆体並びに1分子中にカルボン酸無水物基とアルコキシシリル基有する化合物を含有する組成物を製造し、それを基板上に塗布、乾燥した後、その被膜又はその被膜をパターン加工した被膜を、加熱し硬化被膜を形成する。【選択図】 なし
Claim (excerpt):
(A)耐熱性樹脂前駆体並びに(B)下記一般式(1)または(2)
IPC (8):
C08L101/00
, C08F299/02
, C08K5/5415
, C08L79/04
, G03F7/037
, G03F7/038
, G03F7/075
, H01L21/312
FI (8):
C08L101/00
, C08F299/02
, C08K5/5415
, C08L79/04 B
, G03F7/037
, G03F7/038 501
, G03F7/075 501
, H01L21/312 A
F-Term (62):
2H025AA10
, 2H025AA14
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BC70
, 2H025BE01
, 2H025CA01
, 2H025CA27
, 2H025CB25
, 2H025CB26
, 2H025CC06
, 2H025FA03
, 2H025FA14
, 2H025FA29
, 4J002CC041
, 4J002CL001
, 4J002CM021
, 4J002CM041
, 4J002EE038
, 4J002EE048
, 4J002EH128
, 4J002ES018
, 4J002EV247
, 4J002EV318
, 4J002EX036
, 4J002FD090
, 4J002FD150
, 4J002FD158
, 4J002FD200
, 4J002FD207
, 4J002GJ01
, 4J002GP03
, 4J002GQ00
, 4J002GQ01
, 4J002HA05
, 4J027AC03
, 4J027AC04
, 4J027AC06
, 4J027AH03
, 4J027AJ02
, 4J027AJ08
, 4J027BA14
, 4J027BA17
, 4J027BA19
, 4J027BA23
, 4J027CA29
, 4J027CA34
, 4J027CB10
, 4J027CC04
, 4J027CC05
, 4J027CC06
, 4J027CC08
, 4J027CD10
, 5F058AA08
, 5F058AA10
, 5F058AC10
, 5F058AF04
, 5F058AG01
, 5F058AH02
, 5F058AH03
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
-
ポリアミド樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-237394
Applicant:昭和電工株式会社
-
特開昭59-137493
-
パターン形成方法及び感光性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-094273
Applicant:株式会社関西新技術研究所
-
感光性樹脂およびその組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-335097
Applicant:旭化成株式会社
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