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J-GLOBAL ID：200903037029110030

基板収納容器及びその製造方法

Inventor：
長谷川 晃裕

About 長谷川 晃裕

, 
三村 博

About 三村 博


Applicant, Patent owner：
信越ポリマー株式会社

About 信越ポリマー株式会社


Agent (3)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005144137
Publication number (International publication number)：2006324327
Application date： May. 17, 2005
Publication date： Nov. 30, 2006
Summary：
【課題】 基板と支持片が擦れて基板が損傷したり、塵埃が発生するのを防ぎ、基板の周縁部や裏面が汚れたり、傷付くのを抑制できる基板収納容器及びその製造方法を提供する。【解決手段】 複数枚の基板Wを整列収納する容器本体1と、容器本体1を形成する一対の側壁内面にそれぞれ配設されて容器本体1の正面側に位置し、基板Wの側部周縁を支持する第一の支持片20と、容器本体1を形成する一対の側壁内面にそれぞれ配設されて容器本体1の背面壁側に位置し、基板Wの側部周縁を支持する第二の支持片24とを備える。そして、基板Wの側部周縁と接触する各側壁4の接触部5、第一の支持片20、及び第二の支持片24を容器本体1よりも低摩擦性の樹脂層30で被覆する。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
容器本体に基板を収納する基板収納容器であって、容器本体を形成する一対の側壁にそれぞれ設けられて容器本体の開口部側に位置し、基板の周縁部を支持する第一の支持片と、容器本体を形成する一対の側壁にそれぞれ設けられて容器本体の奥の壁側に位置し、基板の周縁部を支持する第二の支持片とを含み、 基板の周縁部と接触する各側壁の接触部、第一の支持片、及び第二の支持片のうち、少なくとも第一、第二の支持片を容器本体よりも低摩擦性の樹脂層で被覆したことを特徴とする基板収納容器。
IPC (4)：
H01L 21/673 ,  B29C 45/14 ,  B65D 25/10 ,  B65D 85/86
FI (4)：
H01L21/68 T ,  B29C45/14 ,  B65D25/10 ,  B65D85/38 R
F-Term (65)：
3E062AA20 ,  3E062AB20 ,  3E062AC02 ,  3E062AC08 ,  3E062FA02 ,  3E062FA07 ,  3E062FB01 ,  3E062FC03 ,  3E062FC10 ,  3E062JA02 ,  3E062JA07 ,  3E062JB30 ,  3E062JC02 ,  3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BA20 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA05 ,  3E096DA17 ,  3E096DA23 ,  3E096DB01 ,  3E096DC04 ,  3E096EA02X ,  3E096EA04X ,  3E096EA11Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA07 ,  3E096FA09 ,  3E096GA04 ,  3E096GA11 ,  4F206AA12 ,  4F206AA28 ,  4F206AA32E ,  4F206AA40E ,  4F206AD05 ,  4F206AD20 ,  4F206AD23 ,  4F206AG03 ,  4F206AG07 ,  4F206AH33 ,  4F206AH56 ,  4F206JA07 ,  4F206JB12 ,  4F206JB20 ,  4F206JB23 ,  4F206JF05 ,  4F206JF35 ,  4F206JL02 ,  4F206JN25 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA03 ,  5F031EA04 ,  5F031EA06 ,  5F031EA10 ,  5F031EA11 ,  5F031EA14 ,  5F031PA20 ,  5F031PA21 ,  5F031PA23 ,  5F031PA26
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 基板収納容器
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-275495   Applicant：信越ポリマー株式会社
  • 妨害波印加装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-164014   Applicant：株式会社トーキン, 日本電信電話株式会社
Cited by examiner (5)
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