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J-GLOBAL ID：200903015073350258

ウェハ-キャリヤ及びその製造方法

Inventor：
サンジブ・エム・ブハット

About サンジブ・エム・ブハット

, 
ショウン・ディー・エガム

About ショウン・ディー・エガム


Applicant, Patent owner：
フルオロウェア・インコーポレーテッド

About フルオロウェア・インコーポレーテッド


Agent (1)： 岡田 英彦 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999150366
Publication number (International publication number)：2000012673
Application date： May. 28, 1999
Publication date： Jan. 14, 2000
Summary：
【要約】【課題】異なる材料で形成されたウェハーキャリヤの製造を簡略化する。【解決手段】少なくとも二つの異なる溶融処理可能なプラスチック材料で形成された複合型のウェハーキャリヤである。二つのプラスチック材料は最適な性能を発揮するように配置され、オーバーモールドプロセスのときに熱物理的な結合が行われる。ウェハーキャリヤは第1の成形型のキャビティの中でポリカーボネートを用いて第1の部分を成形し、成形された第1の部分を第2の成形型のキャビティの中へ設置し、その上にポリエーテルエーテルケトンを用いてウェハー係合部分をオーバーモールドすることによって形成される。
Claim (excerpt)：
ウェハーを一列に並べた状態で保持するためのウェハーキャリヤであって、a)第1の熱可塑性材料で形成されたベース部分と、b)前記ベース部分の上にオーバーモールドされた複数のウェハー接触部分を有するウェハー係合部分と、を有し、前記ウェハー係合部分が第2の熱可塑性材料で形成され、前記ウェハー接触部分が複数のスロットであり、前記ウェハー係合部分が前記ベース部分へ結合されているウェハーキャリヤ。
IPC (6)：
H01L 21/68 ,  B29C 45/14 ,  B29C 45/16 ,  B29K 69:00 ,  B29K 73:00 ,  B29K 79:00
FI (3)：
H01L 21/68 V ,  B29C 45/14 ,  B29C 45/16
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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