走査型電子顕微鏡のためのサンプルエンクロージャと、その使用法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：社本一夫 , 増井忠弐 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 宮前徹
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2005515862
Publication number (International publication number)：2006518534
Application date： Dec. 10, 2003
Publication date： Aug. 10, 2006
Summary：

【解決手段】 SEMサンプル容器は、サンプルエンクロージャ(100,102)であって、電子ビーム透過性で流体不透過性の膜(132)と、該膜に密封されて該膜と共に前記サンプルエンクロージャを形成する、周囲エンクロージャと、を備える、サンプルエンクロージャと、サンプルエンクロージャとの係合を密封するための迅速接続式アタッチメント(152)機能を有する、サンプルエンクロージャの閉鎖部と、を備える。

Claim (excerpt)：

SEM互換性サンプル容器であって、サンプルエンクロージャであって、電子ビーム透過性で流体不透過性の膜と、該膜に密封されて該膜と共に前記サンプルエンクロージャを形成する、周囲エンクロージャと、を備える、前記サンプルエンクロージャと、前記サンプルエンクロージャとの係合を密封するための迅速接続式アタッチメント機能を有する、サンプルエンクロージャの閉鎖部と、を備える、SEM互換性サンプル容器。

IPC (1)：

H01J 37/20

FI (2)：

H01J37/20 A , H01J37/20 B

F-Term (3)：

5C001AA01 , 5C001BB03 , 5C001CC04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (31)

米国特許番号4,071,766
米国特許番号6,130,434
米国特許番号6,025,592

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Cited by examiner (7)

特開昭51-042461
保持リング、ターゲットおよびその製造のためのプロセス
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2000-545173 Applicant：ユナキス・バルツェルス・アクチェンゲゼルシャフト
特開昭51-042461

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