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J-GLOBAL ID:200903037237747573
固体撮像装置及びその製造方法、並びにカメラ
Inventor:
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,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
角田 芳末
, 伊藤 仁恭
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007025807
Publication number (International publication number):2007258684
Application date: Feb. 05, 2007
Publication date: Oct. 04, 2007
Summary:
【課題】少なくとも暗電流の抑制を図ることができる固体撮像装置およびその製造方法、並びに当該固体撮像装置を備えたカメラを提供する。【解決手段】本実施形態に係る固体撮像装置は、基板30の第1面側に配線層を有し、基板30の第2面側から光を受光する。当該固体撮像装置は、基板30に形成され、電荷蓄積領域41を含む受光部31と、基板30の第1面上であって受光部31に隣接して配置され、受光部31に蓄積された信号電荷を転送する転送ゲート51と、基板30の第1面上であって受光部31に重なって配置され、受光部31の第1面近傍のポテンシャルを制御する制御ゲート52とを有する。【選択図】図4
Claim (excerpt):
基板の第1面側に配線層を有し、前記基板の第2面側から光を受光する固体撮像装置であって、
前記基板に形成され、第1導電型領域を含む受光部と、
前記基板の第1面上であって前記受光部に隣接して配置され、前記受光部に蓄積された信号電荷を転送する転送ゲートと、
前記基板の第1面上であって前記受光部に重なって配置され、前記受光部の第1面近傍のポテンシャルを制御する制御ゲートとを有する
ことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (3):
H01L 27/146
, H04N 5/335
, H01L 27/14
FI (4):
H01L27/14 A
, H04N5/335 E
, H04N5/335 R
, H01L27/14 D
F-Term (25):
4M118AA05
, 4M118AB01
, 4M118BA14
, 4M118CA03
, 4M118CA04
, 4M118CA32
, 4M118CB13
, 4M118CB14
, 4M118DB09
, 4M118DD04
, 4M118EA14
, 4M118FA06
, 4M118FA28
, 4M118FA33
, 4M118GA02
, 4M118GB11
, 4M118GB15
, 4M118GB17
, 4M118GC07
, 4M118GD04
, 5C024CX32
, 5C024CY47
, 5C024GX03
, 5C024GX15
, 5C024GY31
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (3)
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特開平4-333282
-
固体撮像素子とその製造方法、並びに半導体装置とその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-175755
Applicant:ソニー株式会社
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固体撮像素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-157273
Applicant:松下電器産業株式会社
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